[发明专利]掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法在审
| 申请号： | 201610005579.X | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105607412A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 马群;皇甫鲁江;闵天圭;嵇凤丽 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F1/64 | 分类号： | G03F1/64 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜版 安装 框架 利用 固定 方法 | ||
1.一种掩膜版安装框架，其特征在于，包括框架本体和设置在 所述框架本体的第一侧边上的拉伸单元，所述拉伸单元包括用于连接 掩膜版的滑块及使所述滑块沿垂直于所述第一侧边的方向滑动的导 向机构，所述第一侧边为用于固定所述掩膜版的侧边。
2.根据权利要求1所述的掩膜版安装框架，其特征在于，还包括 设置在所述框架本体的第二侧边上的拉伸单元，所述第二侧边与所述 第一侧边平行，所述第二侧边上的拉伸单元与所述第一侧边上的拉伸 单元位置相对。
3.根据权利要求1或2所述的掩膜版安装框架，其特征在于，设 置在每一侧边上的所述拉伸单元的数量为多个。
4.根据权利要求1所述的掩膜版安装框架，其特征在于，所述导 向机构包括安装在所述框架本体上的导轨。
5.根据权利要求1所述的掩膜版安装框架，其特征在于，所述滑 块为金属材质，适于与所述掩膜版焊接。
6.根据权利要求1所述的掩膜版安装框架，其特征在于，所述拉 伸单元还包括设置在所述滑块上的固定件，所述固定件适于将所述掩 膜版固定至所述滑块上。
7.根据权利要求1所述的掩膜版安装框架，其特征在于，所述拉 伸单元还包括驱动机构，所述驱动机构适于驱动所述滑块滑动。
8.根据权利要求7所述的掩膜版安装框架，其特征在于，所述驱 动机构包括丝杠及与所述丝杠连接的旋转手柄。
9.根据权利要求7所述的掩膜版安装框架，其特征在于，所述驱 动机构包括丝杠及与所述丝杠传动连接的伺服电机。
10.一种利用权利要求1-9任一所述掩膜版安装框架固定掩膜版 的方法，其特征在于，包括：
在安装过程中，将所述掩膜版的一端固定至所述第一侧边的拉伸 单元中的滑块，滑动所述滑块，使所述掩膜版绷紧。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，还包括：
在使用过程中，当所述掩膜版松弛时，滑动所述滑块，使所述掩 膜版绷紧。
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