[发明专利]掩膜板组、彩膜基板及其制作方法、检测装置、显示装置有效
申请号: | 201610006525.5 | 申请日: | 2016-01-04 |
公开(公告)号: | CN105487333B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 熊强;吴洪江;毕瑞琳;孙红雨;韩自力;彭元鸿;黎敏 | 申请(专利权)人: | 重庆京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/42 | 分类号: | G03F1/42;G09F9/30;G02F1/1335;G02F1/13 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 400714 重庆市北碚区*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板组 彩膜基板 及其 制作方法 检测 装置 显示装置 | ||
本发明提供一种掩膜板组、彩膜基板及其制作方法、检测装置、显示装置。所述掩膜板组用于制作彩膜基板,所述掩膜板组包括:第一掩膜板,所述第一掩膜板对应于每个所述标记区的位置均形成有多个黑矩阵第一标记掩膜图形,且距离最近的两个所述黑矩阵第一标记掩膜图形的中心间距不小于同一行中相邻两个所述子像素的中心间距的两倍;第二掩膜板,所述第二掩膜板对应于所述滤光区的位置形成有与其中一种颜色的多个子像素一一对应的多个色阻块掩膜图形,所述第二掩膜板对应于每个所述标记区的位置均形成有沿列方向排列的至少两个色阻标记掩膜图形。本发明提供的掩膜板组制作的彩膜基板用于检测时,检测的准确率能够提高。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜板组、彩膜基板及其制作方法、检测装置、显示装置。
背景技术
彩膜基板主要包括衬底基板、背板铟锡氧化物膜、黑矩阵、彩膜层、保护膜层以及隔垫物。为检测每层的制备精度,如图1所示,彩膜基板包括多个靠近其角部的标记区,每个标记区均设置多个黑矩阵标记块5和多个不同颜色的色阻标记块3,黑矩阵标记块5与黑矩阵同步形成,每种颜色的色阻标记块3与相应颜色的色阻块4同步形成。多个黑矩阵标记块5被不同颜色的色阻标记块3覆盖。彩膜基板制备完成后,利用检测装置检测每个色阻标记块3和相应的黑矩阵标记块5的中心是否对齐,如果对齐,表明显示区的滤光色阻块位置相对应,否则,表明显示区的滤光色阻块位置出现偏差。
为了降低彩膜基板的制作成本,在制作彩膜层时,共用一张图2所示的掩膜板来制作不同颜色的色阻块,该掩膜板的对应于每个标记区的位置均设置有一个第一透光孔1a,用于形成每制作一种颜色的色阻块,在衬底基板的标记区同时形成了相应颜色的色阻标记块,制作黑矩阵的掩膜板如图3所示,对应于每个标记区的位置均设置有多个第二透光孔2a。因此,彩膜基板制作完成后,相邻两个色阻标记块3的中心间距d1等于同一行中相邻两个色阻块4的中心间距d2。在利用检测装置进行检测时,视野内会出现两个黑矩阵标记块5和相应的两个色阻块对位标记3,如图4所示,由于光线因素,无法对两个色阻块对位标记进行区分,容易造成识别错误,从而降低检测结果准确性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种掩膜板组、彩膜基板及其制作方法、检测装置、显示装置,以使得在不增加制作成本的前提下,提高彩膜基板的检测准确率。
本发明提供一种掩膜板组,用于制作彩膜基板,所述彩膜基板包括滤光区和多个标记区,所述滤光区被划分为多个像素单元,每个像素单元均包括沿行方向排列的多个不同颜色的子像素,所述掩膜板组包括:
第一掩膜板,所述第一掩膜板对应于每个所述标记区的位置均形成有多个黑矩阵第一标记掩膜图形,且距离最近的两个所述黑矩阵第一标记掩膜图形的中心间距不小于同一行中相邻两个所述子像素的中心间距的两倍;
第二掩膜板,所述第二掩膜板对应于所述滤光区的位置形成有与其中一种颜色的多个子像素一一对应的多个色阻块掩膜图形,所述第二掩膜板对应于每个所述标记区的位置均形成有沿列方向排列的至少两个色阻标记掩膜图形;
当所述第一掩膜板与所述彩膜基板的对正时,对应于同一个标记区的多个黑矩阵第一标记掩膜图形能够在该标记区形成多个第一投影,当所述第二掩膜板的色阻块掩膜图形依次与各种颜色的子像素对正时,对应于同一个标记区的多个色阻标记掩膜图形能够在该标记区形成多列第二投影,同一个标记区中,至少两个第一投影分别对应不同列的第二投影,且所述第一投影位于相应的第二投影的范围内。
优选地,在所述第一掩膜板的对应于任意一个所述标记区的位置,所述黑矩阵第一标记掩膜图形的个数等于所述像素单元内子像素的颜色种类数,在同一标记区中,多个所述第一投影分别与位于互不相同的列中的多个所述第二投影一一对应。
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