[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：

振动元件，其进行驱动振动；

加速度检测元件，其对加速度进行检测；

半导体元件，其与所述振动元件以及所述加速度检测元件中的至少一方电连接；

矩形的支承基板，其具有长边以及短边；

封装件，其具有对所述振动元件、所述加速度检测元件、所述半导体元件以及所述支承基板进行收纳的收纳空间，

所述半导体元件被固定在所述封装件内，

所述加速度检测元件经由所述半导体元件而被固定在所述封装件内，

所述振动元件经由所述支承基板而被固定在所述封装件内，

所述支承基板在所述短边侧的两端部处被固定在所述封装件内。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述振动元件为对角速度进行检测的角速度检测元件。

3.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

所述半导体元件、所述加速度检测元件以及所述振动元件被依次重叠配置。

4.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

所述半导体元件经由导线而被连接于所述封装件内，

所述加速度检测元件的顶部位于与所述导线的顶部相比靠所述半导体元件侧的位置处。

5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述支承基板具备框体和盖，所述盖的至少一部分从所述框体突出，

所述盖在从所述框体突出的部分处与所述振动元件相连接。

6.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，

所述半导体元件经由导线而被连接于所述封装件中，

所述加速度检测元件的顶部位于与所述导线的顶部相比靠所述半导体元件侧的位置处。

7.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至6中的任意一项所述的物理量传感器。

8.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至6中的任意一项所述的物理量传感器。