[发明专利]晶圆夹持机构

权利要求书

1.一种晶圆夹持机构，其特征在于，包括：

转盘；

多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转 盘上，所述卡爪用于将所述晶圆夹持在所述转盘上；

夹持力组件，所述夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的夹持力。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述夹持力组件为磁性夹持力 组件，所述磁性夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆的磁性夹持力。

3.根据权利要求2所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述转盘上设置有枢转轴，所 述活动卡爪可绕所述枢转轴转动，所述磁性夹持力组件设置在所述枢转轴的至少一侧。

4.根据权利要求3所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述磁性夹持力组件包括：相 互吸引的第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件设置在所述转盘上且所述第二磁性件 设置在所述活动卡爪上，所述第一磁性件和所述第二磁性件位于所述枢转轴和所述晶圆之 间。

5.根据权利要求4所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述第一磁性件和所述第二磁 性件中的一个为磁铁且另一个为铁质件；或者所述第一磁性件和所述第二磁性件为相对设 置且磁性不同的磁铁。

6.根据权利要求4-5中任一项所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述磁性夹持力组 件还包括：相互排斥第三磁性件和第四磁性件，所述第三磁性件设置在所述活动卡爪上， 所述第四磁性件设置在所述转盘上，所述第三磁性件和所述第四磁性件相对所述枢转轴位 于远离所述晶圆的一端。

7.根据权利要求6所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述第三磁性件和所述第四磁 性件为相对设置的同极性磁铁。

8.根据权利要求6所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述转盘包括本体和支撑座， 所述支撑座设置在所述本体的一侧，所述本体上设置有用于安装所述活动卡爪的避让槽， 所述支撑座上设置有配合槽，所述配合槽内设置有支撑销，所述支撑销构成所述枢转轴。

9.根据权利要求8所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述支撑座上设置有与所述活 动卡爪相对的端板，所述第四磁性件设置在所述端板上，所述第三磁性件与所述第四磁性 件相对设置。

10.根据权利要求3所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述活动卡爪的邻近所述晶 圆的一端到所述枢转轴的惯性矩小于另一端到所述枢转轴的惯性矩。

11.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，还包括：推杆，所述推杆适 于驱动所述活动卡爪解除对所述晶圆的夹持。

12.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述多个卡爪还包括：至少 一个固定卡爪，所述至少一个固定卡爪固定在所述转盘上。

13.根据权利要求12所述的晶圆夹持机构，其特征在于，所述固定卡爪的数量为a， 所述活动卡爪的数量为b，a+b≥3。

14.根据权利要求1所述的晶圆夹持机构，其特征在于，两个相邻的所述卡爪所对应 的圆心角小于180°。