[发明专利]一种氮化物单晶生长装置及方法有效
| 申请号： | 201610017711.9 | 申请日： | 2016-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105442046B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 巫永鹏;罗睿宏;陈蛟;张国义 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/12 |
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| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 生长 装置 方法 | ||
1.一种氮化物单晶生长装置，包括反应釜，反应釜内设置的晶种支撑装置，及连动装置，其特征在于，所述晶种支撑装置为多孔的空心壳体结构，表面通孔与空心壳体内部连通，侧面通孔具有挡片。
2.根据权利要求1所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，所述反应釜内填充反应物溶液，所述晶种支撑装置，在单晶生长过程中，完全浸没在反应物溶液中。
3.根据权利要求1所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，所述晶种支撑装置侧面设有挡片，挡片具有统一形状、大小，挡片与侧面通孔相连；挡片与侧面间的倾斜角度为10～80度，挡片向通孔一侧倾斜。
4.根据权利要求1所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，所述晶种支撑装置与连动装置相连，所述连动装置转动带动晶种支撑装置转动，转动方向与挡片倾斜方向相同。
5.根据权利要求1所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，所述连动装置在竖直方向可伸缩，带动晶种支撑装置在竖直方向上下移动。
6.根据权利要求1所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，将晶种模板，固定放置于所述晶种支撑装置内部，晶种模板与通孔相距1～10mm；晶种模板跟随晶种支撑装置同步转动；所述晶种模板，或固定于反应釜内壁，晶种模板与通孔相距1～10mm ；晶种模板不跟随晶种支撑装置转动。
7.根据权利要求6所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，所述晶种模板竖直放置、水平放置或以任何倾角倾斜放置。
8.根据权利要求1所述的一种氮化物单晶生长装置，其特征在于，所述晶种支撑装置，其形状为圆柱形、方柱形、椭圆柱形及其他任何具有空心壳体结构的几何形体。
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