[发明专利]行星式转动溶液法晶体生长装置

权利要求书

1.一种行星式转动溶液法晶体生长装置，其特征在于，包括：晶体生长容器、晶体固定机构、密封装置和行星驱动机构；

所述密封装置固定在所述晶体生长容器上；

所述行星驱动机构，包括：固定在所述密封装置上的旋转托盘，驱动所述旋转托盘运动的公转驱动电机，以及放置在所述旋转托盘上的自转驱动电机；

所述晶体固定机构，包括：承载晶体的晶体托盘，以及连接所述自转驱动电机输出轴的支撑杆；

其中，所述公转驱动电机带动所述晶体固定机构作公转运动，所述自转驱动电机带动所述晶体固定机构作自转运动，从而实现所述晶体在生长过程中的行星式转动。

2.根据权利要求1所述的行星式转动溶液法晶体生长装置，其特征在于，所述密封装置采用行星式旋转水封装置，包括公转水封定子、密封水、公转水封转子、水封托盘、自转水封转子和硅胶塞子；

所述公转水封定子的通孔上缘设有环形水槽；

所述公转水封转子下部设有玻璃圆筒；

所述公转水封转子一侧开有偏心通孔，通孔上缘设有环形水槽；

所述公转水封转子下部的玻璃圆筒嵌入公转水封定子的环形水槽内，并与环形水槽的内外侧保持一定距离；

所述公转水封转子中心线与所述公转驱动电机输出轴的中心线重合；

所述自转水封转子上端塞入带通孔的硅胶塞子，下端嵌入公转水封转子的环形水槽内，并与环形水槽的内外侧保持一定距离；

所述自转水封转子中心线与所述自转驱动电机输出轴的中心线重合。

3.根据权利要求1所述的行星式转动溶液法晶体生长装置，其特征在于，所述自转驱动电机输出轴的中心线与公转驱动电机输出轴的中心线相平行，且存在一定距离。

4.根据权利要求1所述的行星式转动溶液法晶体生长装置，其特征在于，所述晶体固定机构在所述行星驱动机构的带动下做周期性正反自转运动和行星式公转运动。

5.根据权利要求1所述的行星式转动溶液法晶体生长装置，其特征在于，应用于溶液法晶体生长系统中。

6.根据权利要求2所述的行星式旋转水封装置，其特征在于，应用于溶液法晶体生长系统中。