[发明专利]加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及有机材料蒸镀技术领域，具体而言，涉及一种加热装置。

背景技术

目前，现有技术中对有机膜料进行蒸发镀膜时，是通过电阻加热装置对有机膜料进行加热蒸发。现有技术中在通过电阻加热装置进行加热时，有机膜料受热不均匀，导致蒸发速率不稳定，进而导致镀膜效果差，影响镀膜质量。

发明内容

本发明提供一种加热装置，以解决现有技术中的有机膜料受热不均匀的问题。

根据本发明提供的一种加热装置，用于蒸发有机膜料，加热装置包括坩埚，坩埚用于盛放有机膜料；电磁加热组件，具有感应线圈，感应线圈环绕在坩埚的轴向外侧，电磁加热组件用于对坩埚进行加热。

进一步地，电磁加热组件包括多个相互独立的感应线圈，多个感应线圈沿坩埚的轴向方向依次设置在坩埚的外侧。

进一步地，电磁加热组件包括线圈罩，线圈罩包裹感应线圈，线圈罩设置在坩埚的外侧。

进一步地，加热装置还包括用于调节坩埚高度的高度调节组件，坩埚设置在高度调节组件上。

进一步地，高度调节组件包括第一支撑架；第二支撑架，可上下活动地设置在第一支撑架上，坩埚设置在第二支撑架上，第二支撑架具有在第一支撑架上移动的移动状态以及固定在第一支撑架上的固定状态。

进一步地，加热装置还包括架体，线圈罩以及第一支撑架均设置在架体上。

进一步地，架体上设置有连接端子，感应线圈的端部与连接端子连接。

进一步地，加热装置还包括冷却部，设置在架体上，冷却部用于对电磁加热组件进行冷却。

进一步地，坩埚包括锅体，用于盛放有机膜料；盖体，盖体可拆卸地设置在锅体上，盖体上设置有多个通孔。

进一步地，坩埚内放有金属颗粒。

进一步地，加热装置还包括掩板，设置在坩埚上，掩板用于遮盖坩埚。

进一步地，加热装置还包括测温仪，测温仪用于测量坩埚内部的温度。

应用本发明的技术方案，通过电磁加热组件对坩埚进行加热，能够对电磁加热组件的加热温度进行精确控制，并能够对坩埚进行均匀加热，进而能够使坩埚内的有机膜料均匀蒸发，提高镀膜质量。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本发明实施例一的加热装置的结构示意图；

图2示出了图1中坩埚的结构示意图；

图3示出了根据本发明实施例一的掩板盖在坩埚上的结构示意图；

图4示出了根据本发明实施例一的掩板未盖在坩埚上的结构示意图；

图5示出了根据本发明实施例二的加热装置的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、坩埚；11、锅体；12、盖体；13、通孔；20、电磁加热组件；21、感应线圈；22、线圈罩；30、高度调节组件；31、第一支撑架；32、第二支撑架；40、架体；41、连接端子；51、冷却管；60、掩板；70、测温仪。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

如图1所示，本发明实施例一为一种加热装置，用于蒸发有机膜料，加热装置包括坩埚10和电磁加热组件20。其中，电磁加热组件20具有感应线圈21，感应线圈21环绕设置在坩埚10的外侧，在对有机膜料进行加热蒸发时，通过坩埚10盛放有机膜料，通过电磁加热组件20对坩埚10进行加热，以达到蒸发有机膜料的目的。坩埚10可以选用敞口坩埚或带有盖体的坩埚进行加热。

应用本发明的技术方案，通过电磁加热组件20对坩埚10进行加热，能够对电磁加热组件20的加热温度进行精确控制，并能够对坩埚10进行均匀加热，进而能够使坩埚10内的有机膜料均匀蒸发，如此可提高镀膜质量。

具体地，在镀膜过程中，将加热装置处于高真空环境下，具有导电性能的有机膜料盛放在坩埚10内，将坩埚10放在螺旋感应线圈21的中央，在感应线圈21上通入高频的感应电流，导电有机膜料在高频电磁场的感应下产生涡流电流，使得有机膜料迅速升温并蒸发。并且，由于有机膜料整体都处于高频电磁场的环境下，使得有机膜料能够整体升温，膜料温度均匀进而使膜料能够均匀、稳定地蒸发。