[发明专利]减薄装置及其使用方法

说明书

本发明公开了一种减薄装置及其使用方法，属于显示领域。所述减薄装置包括：出液组件、承载组件和静电场组件，承载组件上用于承载待减薄结构的承载面与水平面存在倾角；出液组件的出液口位于承载面较高的一端，出液口的出液方向平行于承载面，出液组件用于向待减薄结构的待减薄表面输出减薄液；静电场组件用于形成静电场，静电场的电场源位于承载面未承载有待减薄结构的一侧，待减薄表面的减薄液位于静电场内。本发明解决了衬底基板表面的平整度较低的问题，达到了提高待减薄表面的平整度的效果，本发明用于基板的减薄。

技术领域

本发明涉及显示领域，特别涉及一种减薄装置及其使用方法。

背景技术

随着液晶显示屏(英文：Liquid Crystal Display；简称：LCD)向轻薄化发展，液晶显示屏需要使用更加轻薄的衬底基板，因此，需要对衬底基板进行减薄处理。

相关技术中，在对衬底基板进行减薄处理时，通常使用减薄装置向衬底基板表面喷淋减薄溶液，使得衬底基板与减薄溶液进行化学反应，实现衬底基板的薄形化。具体的，衬底基板的材质为二氧化硅(SiO₂)，减薄溶液为氢氟酸(HF)，当减薄装置向衬底基板表面喷淋减薄溶液时，SiO₂能够和HF发生化学反应，并生成氟硅酸(H₂SiF₆)和水(H₂O)，生成的H₂SiF₆和H₂O能够随着减薄溶液的流动脱离衬底基板表面。

由于相关技术中，减薄装置喷出的减薄液对衬底基板表面的各个位置的冲击力不同，使得衬底基板表面会形成多个凹点，因此，衬底基板表面的平整度较低。

发明内容

为了解决衬底基板表面的平整度较低的问题，本发明提供了一种减薄装置及其使用方法。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种减薄装置，所述减薄装置包括：出液组件、承载组件和静电场组件，

所述承载组件上用于承载待减薄结构的承载面与水平面存在倾角；

所述出液组件的出液口位于所述承载面较高的一端，所述出液口的出液方向平行于所述承载面，所述出液组件用于向所述待减薄结构的待减薄表面输出减薄液；

所述静电场组件用于形成静电场，所述静电场的电场源位于所述承载面未承载有所述待减薄结构的一侧，所述待减薄表面的减薄液位于所述静电场内。

可选的，所述减薄装置还包括：回收组件，所述回收组件与所述出液组件相连通，

所述回收组件的进液口位于所述承载面较低的一端，所述回收组件用于收集流过所述待减薄表面的减薄液，并将收集到的减薄液传输至所述出液组件。

可选的，所述出液组件还用于检测待输出的减薄液的浓度；

所述出液组件还用于在待输出的减薄液的浓度大于预设浓度时，向所述待减薄表面输出减薄液。

可选的，所述承载组件为棱台，所述棱台的侧面为所述承载面。

可选的，所述棱台由承载支架和至少一个承载板构成，

所述承载板设置在所述承载支架上，所述承载支架构成所述棱台的边，所述至少一个承载板构成所述棱台的侧面。

可选的，所述承载板为矩形板，位于所述承载板的第一端的侧面与位于所述承载板的第二端的侧面平行，所述承载板的第一端和所述承载板的第二端分别向相反的方向卷起，

所述承载板的第一端悬挂在所述承载支架上，所述回收组件的进液口位于所述承载板的第二端，所述回收组件用于通过所述承载板的第二端收集流过所述待减薄表面的减薄液。

可选的，所述减薄装置还包括：旋转组件，所述旋转组件包括：旋转轴，