[发明专利]一种二维微动平台装置

权利要求书

1.一种二维微动平台装置，其特征在于，平台可以实现在平面任意方向上的无摩擦微运动，该装置包括：电磁驱动部分、笼式结构部分和基座，其中，

电磁驱动部分，包括：方板、支撑架、线圈骨架、产生磁力的线圈和受磁力的磁钢，线圈缠绕在线圈骨架上以后，用胶粘附在支撑架上，支撑架固定在基座上，方板中心开圆孔与磁钢过盈配合，磁钢的另一端悬浮在线圈之中，并且保持磁钢的轴线与线圈的轴线一致，方板用螺栓固定在笼式结构部分的平台上，线圈通电后产生的磁场对经磁化后的磁钢产生吸引或排斥力，使磁钢沿线圈的轴线方向运动，磁钢带动方板，进而带动平台运动；

笼式结构部分，包括：平台、底座和48根弹性钢丝，平台上方用于安装样片，平台下表面与底座上表面均打孔与弹性钢丝配合并紧固；

基座，用于支撑并固定电磁驱动部分和底座。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述笼式结构部分，48根弹性钢丝呈圆形分布，平台受力后，在平面内各个方向的运动具有一致性；弹性钢丝在垂直方向上可以支撑平台及触头加载力，在横向受磁场力后依靠小挠度的变形实现平台的微动，撤去磁场后，靠本身弹性复位，实现小于200微米的往复微动。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电磁驱动部分在同一个方向有两个对称放置的线圈和磁钢，既增加了驱动力，同时克服了力与位移的非线性失真，实现此特征的有四套线圈和磁钢，其中,

磁钢是钕铁硼材料经磁化后的永磁体，同方向的一对线圈通正电后，一端线圈吸引与之邻近的磁钢，拉动平台，另一线圈排斥与其邻近的磁钢，推动平台，一推一拉同时工作使平台始终保持水平，输入负信号则平台反向运动。