[发明专利]测量装置

说明书

本发明提供一种测量装置，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。本发明的测量装置对夹具的固定部与基台之间的横向距离、夹具的夹持部与基台之间的纵向距离进行测量时更加方便。

技术领域

本发明涉及显示基板的制作领域，具体涉及一种测量装置。

背景技术

在显示基板的制作过程中，先在衬底基板上形成膜层，然后对膜层进行构图工艺以形成所需的图形。膜层可以采用物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的方法形成，在成膜时，需要使用夹具1(clamp)将基板固定到基台2上。夹具1在使用一段时间以后由于磨损等原因需要进行更换，为了判断夹具1的位置是否正确，需要测量夹具1的固定部11与基台2之间的距离(如图1中的A值)和夹具1的夹持部12与基台2之间的距离(如图1中的B值)，如果夹具1放置的位置不正确，可能衬底基板损坏，因此，夹具1的位置调整和夹具1与基台2之间的距离测量十分重要。

为了测量图1中的A值和B值，通常采用图2中的楔形塞尺3进行测量，但是利用这种方式进行测量时，只能先测得A值和B值中的一个，然后再移动楔形塞尺3来测量另一个，使得测量过程较麻烦；并且，当楔形塞尺3的量程不够时，如果直接将塞尺的量程增大，那么楔形塞尺3的横向长度也会相应增加，使得楔形塞尺3占用较大的面积，不容易放置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测量装置，以便于测量夹具和基台之间的两个方向的距离。

本发明提供一种测量装置，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。

优选地，所述横向测量机构和所述纵向测量机构之间的相对位置保持不变，所述定位件能够相对于所述横向测量机构和所述纵向测量机构移动。

优选地，所述测量装置能够测量用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离，所述夹具包括纵向延伸的固定部和与所述固定部相连并朝向所述基台中部横向延伸的夹持部，所述用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离包括所述固定部与所述基台之间的横向距离以及所述夹持部与所述基台之间的纵向距离，所述定位件包括相连的纵向部和横向部，所述纵向部的至少一部分能够与所述夹具的固定部的朝向所述基台的表面贴合，所述横向部的至少一部分能够与所述夹具的夹持部的朝向所述基台的表面贴合。

优选地，所述横向测量机构包括底座，所述底座上设置有横向排列的多个刻度；所述纵向测量机构包括至少一个纵向标尺，所述纵向标尺上设置有纵向排列的多个刻度；所述纵向标尺和所述底座之间的相对位置保持不变，所述定位件移动至任意位置时，所述定位件上的预定位置在所述底座上的投影位于所述底座上刻度的范围内，且所述定位件上的预定位置在所述纵向标尺上的投影位于所述纵向标尺上刻度的范围内。

优选地，当所述定位件位于所述初始位置时，所述纵向部与所述底座的朝向所述待测量物体的侧面相贴合，且所述横向部与所述底座的顶面相贴合。

优选地，所述测量装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述定位件相连，用于带动所述定位件相对于所述横向测量机构进行纵向移动，并带动所述定位件相对于所述纵向测量机构进行横向移动。

优选地，所述驱动机构包括与各个所述纵向标尺分别对应的驱动轴和与各个所述驱动轴分别对应相连的连接组件，所述纵向标尺上设置有第一通孔，所述驱动轴的一端穿过相应的纵向标尺上的第一通孔，所述连接组件与所述定位件相连，所述驱动轴用于带动所述连接组件沿所述底座上刻度的排列方向移动。