[发明专利]制造具有鳍形图案的半导体器件的方法有效
| 申请号： | 201610032156.7 | 申请日： | 2016-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN105826385B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘庭均;朴世玩;都承右;朴寅源;成石铉 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张帆;崔卿虎 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 具有 图案 半导体器件 方法 | ||
【说明书】：
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