[发明专利]光滤波器以及使用其的分析设备和光设备

权利要求书

1.一种光滤波器的驱动方法，其特征在于，

在包括第一反射部和第二反射部，控制上述第一反射部与上述第二反射部之间的第一间隔的光滤波器的驱动方法中，包括：

向第一电极与和上述第一电极对置的第二电极之间施加第一电压的步骤；以及

向被配置于上述第一电极与上述第一反射部之间且和上述第二电极对置的第三电极与上述第二电极之间施加第二电压的步骤，

在俯视的情况下，所述第一电极配置于所述第一反射部的周围。

2.根据权利要求1所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于，

上述第一间隔比上述第一电极与上述第二电极之间的第二间隔窄。

3.根据权利要求1所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于，

在施加上述第一电压的期间施加上述第二电压。

4.根据权利要求3所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于，

上述第一电压是施加于上述第一电极与上述第二电极之间的电压中的最大电压。

5.根据权利要求4所述的光滤波器的驱动方法，其特征在于，

在上述第一电压成为上述最大电压之后，施加上述第二电压。

6.一种光滤波器，其特征在于，包括：

第一反射部；

第二反射部，其与上述第一反射部对置；

第一电极；

第二电极，其与上述第一电极对置；

第三电极，其被配置于上述第一电极与上述第一反射部之间，且与上述第二电极对置，

其中，上述第一反射部与上述第二反射部之间的第一间隔比上述第一电极与上述第二电极之间的第二间隔窄，

在俯视的情况下，所述第一电极配置于所述第一反射部的周围，

上述第二间隔可变。

7.根据权利要求6所述的光滤波器，其特征在于，还包括：

第一基板，其被配置为经由上述第一反射部与上述第二反射部对置；以及

第二基板，其被配置为经由上述第二反射部与上述第一反射部对置。

8.根据权利要求7所述的光滤波器，其特征在于，

上述第一反射部被配置在上述第一基板的第一面上，

上述第一电极以及上述第三电极被配置在上述第一基板的第二面上，

上述第一基板在上述第一面与第二面之间具有与上述第一面以及上述第二面交叉的第三面。

9.根据权利要求7所述的光滤波器，其特征在于，

在上述第二基板中，与上述第二反射部重叠的区域的厚度比与上述第二电极重叠的区域的厚度厚。

10.一种分析设备，其特征在于，

包括权利要求6至9中的任意一项所述的光滤波器。

11.一种光设备，其特征在于，

包括权利要求6至9中的任意一项所述的光滤波器。