[发明专利]一种储存稳定的感光干膜及其制备方法

权利要求书

1.一种储存稳定的感光干膜，其特征在于，由感光干膜经加热分切后得到，所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成；其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成；所述保护膜层为聚乙烯薄膜层。

2.根据权利要求1所述的感光干膜，其特征在于，所述共聚酯PETG层由对苯二甲酸二甲酯(DMT)、乙二醇(EG)和新戊二醇(NPG)三种单体缩聚而成。

3.根据权利要求1所述的感光干膜，其特征在于，所述双面热封型PET透光率大于90％，雾度小于3％。

4.根据权利要求1所述的感光干膜，其特征在于，所述双面热封型PET在120-300℃进行热封。

5.一种储存稳定的感光干膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)干膜溶液配制：将50-70重量份的碱溶性树脂、15-45重量份的单体、0.5-10重量份的光引发剂、0.5-9重量份的添加剂、30-70重量份的溶剂混合均匀，得到干膜溶液；

(2)涂布与烘干：将步骤(1)得到的干膜溶液均匀涂布在双面热封型PET表面，通过温度为70℃的烘道将其烘干，形成干膜抗蚀剂层；

(3)贴合保护膜：在抗蚀剂层表面贴合聚乙烯薄膜，获得三层结构的感光干膜；

(4)加热分切干膜：将分切圆刀预先加热到100-600℃，对步骤(3)获得的感光干膜进行加热分切，使得切口处快速热封，形成宽度为0.1-2.0mm的热封层，得到储存稳定的感光干膜。

6.根据权利要求5所述的感光干膜制备方法，其特征在于，所述加热分切的速度为60-120m/min。

7.根据权利要求5所述的感光干膜制备方法，其特征在于，所述分切圆刀厚度为0.1-2.0mm。