[发明专利]一种无损检测高精度元件缺陷的方法

权利要求书

1.一种无损检测高精度元件缺陷的方法，其特征在于，包括：

搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器 的光路，该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析 光栅G2的周期满足预设条件；

将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间，对待检测高精度元件进 行相位衬度成像，获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号，从而对其缺陷进行检 测。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光路中的源光栅G0的周期与分析 光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件包括：

源光栅G0的周期P₀与分析光栅G2的周期P₂满足：

P0l=P2d;]]>

分束光栅G1的周期P₁与分析光栅G2的周期P₂满足：

P1l=P2l+d;]]>

其中，l为源光栅G0与分束光栅G1之间的距离，d分束光栅G1与分析光栅G2之间的 距离。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获得待检测高精度元件的折射信号包 括：

通过单步或者多步成像，由探测器采集获得待检测高精度元件的折射信号：

其中，i是复数虚部单位，I_k(x,y,d)是像素(x,y)在相位步进第k步且分束光栅G1与 分析光栅G2之间的距离为d时采集到图像的灰度值；是像素(x,y)处测到的折射 角；N是相位步进的步数，当采用单步成像时，k＝N＝1，当采用多步成像时， k＝1,...,N。