[发明专利]可防止阳极管结垢的湿式电除尘器

说明书

技术领域

本发明涉及一种湿式电除尘器，具体说是可防止阳极管结垢的湿式电除尘器，主要用于电脑显示器、手机面板生产过程中氧化硅、酸碱废液雾滴的捕集处理以及其他化工领域有害气体排放处理。

背景技术

随着电子信息产业的发展和应用领域的逐步的扩展，平板显示产业得到迅猛发展，已成为一个市场规模大、技术更新快，产业辐射面广，推动益效显著的产业。同时，触摸屏产品在近几年发展迅速，而金属氧化物半导体显示技术（Oxide TFT）作为下一代新型半导体显示技术具有独特的优势，是未来制备大尺寸背板的主要发展方向。目前，国内主要大型光电企业基本建成为第8.5代新型半导体显示器生产线。

在半导体显示器生产线中，玻璃基板是主要的生产部件，玻璃基板生产中要使用酸、碱、硅烷等辅助原料，由此会产生一定的有毒废气。酸碱废气一般都是采用填料型洗涤塔对其进行循环喷淋中和处理，但硅烷在燃烧过程中产生的粉尘，主要是氧化硅（SiO₂）容易在洗涤塔中结晶，堵塞洗涤塔中的填料，造成填料表面更新缓慢，从而影响废气处理效率，导致污染环境。所以，在废气进入洗涤塔前必须先进行除尘处理。而半导体显示器生产中产生的有毒气体一般排出的温度在25℃－30℃，无法采用干式电收尘器，而只能利用SiO₂易溶于水这一特性采用湿式电除尘器。湿式电除尘器可先将废气进行洗涤，然后再利用阳极管与阴极线之间的电场作用，使得SiO₂向阳极管内壁移动，并在阳极管内壁表面结晶，从而减少湿式电除尘器排出气体中氧化硅的含量。这种湿式电除尘器在使用一段时间后，由于氧化硅结晶的不断积累，其阳极管内壁会产生结垢。现有技术中去除这种结垢的方式是，在湿式电除尘器的壳体内腔顶部（即阳极管上方的出气室内）设置喷淋管，定期向下方的阳极管喷水，利用氧化硅易溶于水的特性对阳极管结垢进行清理。但是，由于湿式电除尘器在运行时，阳极管与阴极线间存在电场，如果有大量的水经过，很容易造成短路，损坏设备。因此，这种方式只能在湿式电除尘器停运时进行。同时，由于长期积累的结垢厚度和面积往往都较大，采用这种方式很难将其完全清除，而阳极管壁残留的结垢又会影响阳极管与阴极管间的电场效应，造成设备除尘效率的降低。

发明内容

本发明要解决的问题是提供一种可防止阳极管结垢的湿式电除尘器，采用该湿式电除尘器，可实时清除阳极管内壁的结晶，不会造成结垢出现，确保设备的除尘效率不受影响。

为解决上述问题，采取以下技术方案：

本发明的可防止阳极管结垢的湿式电除尘器包括壳体，壳体内自下而上依次设置有进气室、气体分布室、阳极室和出气室。所述进气室的侧壁有进气口。所述气体分布室内有呈水平布置的气体分布板，气体分布板上有多个通气孔。所述阳极室内均布有呈竖向布置的阳极管，阳极室的顶部有上框架，上框架上均匀的悬挂有阴极线，阴极线与阳极管一一对应，且阴极线均位于阳极管的中心位置，阴极线的下端从阳极管下端伸出且其上均连接有重锤。所述出气室顶部有出气口，出气室内有第一喷淋管，第一喷淋管下侧均布有喷头。所述壳体上表面沿周向均布有绝缘箱。其特点是所述进气室底部有集液箱，该集液箱连接有第一循环泵和第二循环泵。所述进气室顶部有第二喷淋管，第二喷淋管下侧均布有喷头，第二喷淋管通过管道与第一循环泵相连。所述阳极室内有呈水平布置的上承水板和下承水板，它们的四周均与阳极室内壁呈密封连接，上承水板和下承水板上均有与阳极管对应的通孔。所述上承水板位于阳极管上端的下方，且上承水板的通孔与阳极管的外壁呈密封配合。所述下承水板位于阳极管下端的上方，且下承水板的通孔与阳极管的外壁呈密封配合。所述上承水板的上表面有溢流管，溢流管通过管道与第二循环泵相连。所述阳极管下端的内侧有环形的集水槽，集水槽的槽沿下方对应的阳极管管壁上有出水口，该出水口位于所述下承水板的上方。所述壳体上有出水管，该出水管位于下承水板的上方，且低于阳极管的出水口，出水管通过管道与所述集液箱的内腔相连通。