[发明专利]一种新型孪生外置旋转阴极

权利要求书

1.一种新型孪生外置旋转阴极，其特征在于：所述包括共用靶套(1)、孪生冷却水系统(2)、共用工艺进气系统(3)、孪生平衡磁极系统(4)、共用旋转动力系统(5)、孪生电力接入系统(6)、孪生观察视窗(7)和共用安全保护罩(8)；所述共用旋转动力系统(5)的电机通过同步带同步轮带动共用靶套(1)以相同速度旋转，且共用工艺进气系统(3)通入工作气体将真空维持在工作真空度，由孪生电力接入系统(6)接入相应的高压电，将气体离化成等离子体在孪生平衡磁极系统(4)提供的平衡磁场中进行磁控溅射镀膜；

所述共用靶套(1)为由阴极套(1-1)、与阴极套(1-1)配套的下绝缘座(1-2)、与阴极套(1-1)真空密封配套的上绝缘座(1-3)和与上绝缘座(1-3)真空密封配套的动密封(1-4)组成；

所述冷却水系统(2)由与下绝缘座(1-2)通过轴承相配合的下端盖(2-1)、与下端盖(2-1)真空密封配合的靶管(2-2)、与靶管(2-2)通过低熔点金属焊接配合的溅射靶材(2-3)、与靶管(2-2)真空密封配合的上端盖(2-4)、与下端盖(2-1)摩擦配合的出水管(2-5)、与出水管(2-5)水密封配合的进水管(2-6)和与进水管(2-6)、出水管(2-5)水密封配合的分水器(2-7)组成；

所述工艺进气系统(3)由与工艺气瓶线连接的进气连接管(3-1)、与阴极套(1-1)真空配合的密封盖(3-2)、与工艺进气连接管(3-1)通联的均气座(3-3)和与均气座(3-3)紧固连接的均气盖(3-4)组成；

所述平衡磁极系统(4)由与出水管(2-5)紧固配合的紧固座(4-1)、与紧固座(4-1)紧固连接的磁极座(4-2)、固定安装在磁极座(4-2)上南(北)磁极(4-3)、固定安装在磁极座(4-2)上的北(南)磁极(4-4)、与磁极座(4-2)紧固相连的磁极盖(4-5)、与出水管(2-5)紧固连接的磁极方向定位座(4-6)和与绝缘座(6-1)紧固连接的磁极定位安装板(4-7)组成；

所述旋转动力系统(5)由与阴极套(1-1)紧固连接的电机安装座(5-1)、安装在电机安装座(5-1)上的伺服电机(5-2)和通过同步轮和同步带与电机相连的传动轮(5-3)组成，传动轮(5-3)与上端盖(2-4)紧固连接；

所述电力接入系统(6)由与电机安装座(5-1)紧固连接的绝缘座(6-1)、与绝缘座(6-1)紧固连接的电极安装座(6-2)、通过石墨碳刷与电极安装座相连接的导电铜环(6-3)和防止两个阴极之间放电的灭弧片(6-4)组成；

所述观察视窗(7)为与阴极套(1-1)真空密封的石英玻璃安装件；

2.根据权利要求1所述的一种新型孪生外置旋转阴极，其特征在于：所述的新型孪生外置旋转阴极通过真空密封与真空系统配合使用。

3.根据权利要求1所述的一种新型孪生外置旋转阴极，其特征在于：所述的新型孪生外置旋转阴极的极限真空为10^-5帕斯卡，且工作真空范围为0.01-10帕斯卡。

4.根据权利要求1所述的一种新型孪生外置旋转阴极，其特征在于：所述的新型孪生外置旋转阴极可以任意角度安装。

5.根据权利要求1所述的一种新型孪生外置旋转阴极，其特征在于：所述的新型孪生外置旋转阴极适合采用中频溅射电源、双路直流电源和双路脉冲直流电源。