[发明专利]惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构及预紧方法

说明书

技术领域

本发明涉及激光惯性约束聚变装置中高功率固体激光驱动器中的大口径光学元件精密制造及装配领域，具体涉及一种惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构及预紧方法。

背景技术

激光惯性约束聚变装置广泛使用了数以千计的大口径光学元件，用以完成千焦耳级能量的激光束的放大、滤波及传输，并最终实现强激光束的精确汇聚产生能够引发聚变反应的特殊物理条件。传输反射镜是高功率固体激光装置中最大的光学器件，在激光束编组传输过程中发挥对激光束进行位置调整、方向对准、光程匹配(使每束激光光程相同)等重要功能。在激光传输过程中，反射镜的表面精度会对激光束的波前性能有一定的影响，所以，为了保障激光束的质量，大口径激光反射镜在制造、装配、安装过程中都必须有极严格的工艺技术要求——例如，某激光传输反射镜要求在400mm×400mm的镜面尺度上保障面形误差控制在纳米量级，这已经近乎当前光学/机械工程的极限水平！

我国激光惯性约束聚变装置的大口径反射镜所采用的装配结构及预紧技术方法，存在着某些原理性缺陷。因此，在大口径激光反射镜的装配过程中，反射镜元件上各个紧固点的夹持力偏差过大、均匀性差，导致了光学元件应力分布不均、面形精度差、误差大，并且装配预紧/检测调整的操作过程复杂、工作周期长等突出问题，已经难以适应激光惯性约束聚变装置对大口径光学元件精密高效装配技术的迫切需求。

发明内容

从满足激光惯性约束聚变装置对大口径光学元件精密高效装配技术的迫切需求出发，针对大口径反射镜旧有的装配结构及预紧方法中的内在不足，本发明提供一种惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构及预紧方法。

为达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构，包括反射镜元件1、镜框组件2、镜体压板3、垫片4、挠性元件5、定位及预紧螺钉6和挠性件压板7；所述镜框组件2为矩形，在四侧面上均开有一个矩形槽，槽中间开有矩形通孔，在通孔边缘的槽面上开有多个螺纹孔；所述挠性元件5装入矩形镜框2四侧面的矩形通孔中，与装入镜框组件2中的矩形反射镜元件1直接接触，所述挠性件压板7装入镜框组件2四侧面的矩形槽中，压紧挠性元件5；所述定位及预紧螺钉6拧入镜框2上的螺纹孔中从而对挠性件压板7进行固定，所述挠性件压板7压紧挠性元件5实现对于反射镜元件1的周向紧固；在所述镜框组件2的正面一侧的四侧面开有多个螺纹孔，用于安装矩形框状结构的镜体压板3以固定反射镜元件1，所述矩形框状结构的镜体压板3和反射镜元件1的镜面之间插入垫片4；在镜体压板3上开有多个螺纹孔采用定位及预紧螺钉6压紧垫片4以实现对反射镜元件1的正面紧固。

所述惯性约束聚变用大口径反射镜的精密装配结构的预紧及装配方法，具有“建模估算-装配预紧-检测调整”的闭环控制特点。在达到ISO14644-1规定的5级空气洁净标准的光学精密装配环境下，具体执行如下步骤：

步骤1:在纳米精度量级的大口径激光干涉仪上，采用竖直放置方式，对反射镜元件1的高精密镀膜反射面(以下简称镜面)进行精密测量，获取反射镜元件1的当前面形(即裸镜)的精准数据；如果所获反射镜元件1的面形数据满足工艺技术要求，则执行如下装配预紧操作；

步骤2:基于反射镜元件镜面变形的公差要求和给定的外部输入机械/热激励条件，利用结构力学方法，计算出保持反射镜元件结构稳定所需要的压紧力，含反射镜元件1正面的压紧力和四个侧面上的压紧力；

步骤3:用大口径真空吸盘吸紧反射镜元件1，精确装入镜框2；

步骤4:在反射镜正面的四边缘，放入垫片4，然后安装矩形框状结构的镜体压板3，安装多个定位螺钉进行固定，采用定值力矩扳手在镜体压板3上安装多个预紧螺钉，压紧垫片4实现对反射镜元件1的正面紧固。

步骤5:在镜框组件2四侧面的矩形通孔中，安装入与矩形通孔等长度的挠性元件5，与矩形反射镜元件1直接接触，在镜框组件2四侧面的矩形槽中，安装入与矩形槽等长度的挠性件压板7；

步骤6:运用设定压力值的压力装置对挠性件压板7进行加压，达到稳定状态后保持1分钟，再用定位及预紧螺钉6对挠性件压板7进行固定，并撤除压力装置；

步骤7:依次执行对镜体四侧面的预紧后，完成对反射镜元件1的一次周向紧固；

步骤8:在纳米精度量级的大口径激光干涉仪上，采用竖直放置方式，对预紧完成后的反射镜表面再次进行精密测量，获取反射镜元件1当前面形的精准数据；