[发明专利]基板及其加工方法与装置有效
| 申请号： | 201610042291.X | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105856444B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黃炳照;苏威年;郑正元;朱元翰;邱则明;邓信富 | 申请（专利权）人： | 黄炳照 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;H01L21/3063 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 及其 加工 方法 装置 | ||
【说明书】：
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