[发明专利]一种用于电致变色玻璃的透明导电玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种用于电致变色玻璃的透明导电玻璃，其特征在于，其依 次包括：玻璃基层、保护膜、增透膜和透明导电膜，所述玻璃基层一 侧表面利用真空磁控溅射技术镀有所述保护膜，所述保护膜表面利用 真空磁控溅射技术镀有所述增透膜，所述增透膜表面利用真空磁控溅 射技术镀有所述透明导电膜。

2.根据权利要求1所述的一种用于电致变色玻璃的透明导电玻 璃，其特征在于，所述透明导电膜为掺有稀土材料的AZO透明导电 膜；所述AZO为掺铝氧化锌，其中，氧化锌与铝的质量比为90:10； 所述稀土材料为钇、镧、钐、铈、钆、钕、铒、钪中的任意一种；所 述稀土材料的添加比例为所述AZO与所述稀土材料混合后总质量的 0.01％～5％，优选为0.3～2％；所述透明导电膜厚度为50～500nm。

3.根据权利要求1所述的一种用于电致变色玻璃的透明导电玻 璃，其特征在于，所述增透膜是氧化钛增透膜、氧化铌增透膜、氧化 锆增透膜、氧化硅增透膜或氧化钛、氧化铌、氧化锆、氧化硅中的两 种或两种以上混合材料增透膜中的任意一种，所述增透膜厚度为 1～85nm。

4.根据权利要求1所述的一种用于电致变色玻璃的透明导电玻 璃，其特征在于，所述保护膜是氧化钛保护膜、氧化硅保护膜、氮化 硅保护膜、氮化钛保护膜或氧化钛、氧化硅、氮化硅、氮化钛中的两 种或两种以上混合材料保护膜中的任意一种，所述保护膜厚度为 5～50nm。

5.根据权利要求1所述的一种用于电致变色玻璃的透明导电玻 璃，其特征在于，所述玻璃基层为普通浮法玻璃、超白浮法玻璃、着 色玻璃中的任意一种，所述玻璃基层的厚度为2～15mm；所述玻璃基 层优选为4～8mm的超白浮法玻璃。

6.一种用于电致变色玻璃的透明导电玻璃制备方法，其特征在 于，其包括如下步骤：(1)制备导电膜材料靶；(2)清洗玻璃基层； (3)保护膜溅射；(4)增透膜溅射；(5)透明导电膜溅射；(6)退 火处理得到成品透明导电玻璃；其中，

(1)制备导电膜材料靶：将稀土材料与AZO粉末按比例混合均 匀，投入模具后，经冷等静压工艺压制成靶材坯体，然后烧结形成导 电膜材料靶；

(2)清洗玻璃基层：玻璃基层经纯净水清洗烘干后送入真空镀 膜室；

(3)保护膜溅射：采用保护膜材料靶向所述玻璃基层一侧表面 中频反应溅射保护膜，设定功率50～120KW，氩气和氮气混合气氛溅 射，气压4.5～5.5×10^-4mbar；

(4)增透膜溅射：采用增透膜材料靶向所述保护膜表面中频反 应溅射增透膜，设定功率20～50KW，氩气和氧气混合气氛溅射，气 压为4.5～5.5×10^-4mbar；

(5)透明导电膜溅射：采用所述步骤(1)制备的所述导电膜材 料靶向所述增透膜表面中频反应溅射透明导电膜，所述透明导电膜厚 度为50～500nm，设定功率30～60KW，氩气和氧气混合气氛溅射，气 压4.5～5.5×10^-4mbar，得到透明导电玻璃半成品；

(6)退火处理得到成品透明导电玻璃：将所述透明导电玻璃半 成品放入真空退火炉内，进行真空退火，得到成品透明导电玻璃。

7.根据权利要求6所述的一种用于电致变色玻璃的透明导电玻 璃制备方法，其特征在于，所述AZO为掺铝氧化锌，其中，氧化锌 与铝的质量比为90:10；所述稀土材料为钇、镧、钐、铈、钆、钕、 铒、钪中的任意一种；所述稀土材料的添加比例为所述AZO与所述 稀土材料混合后总质量的0.01％～5％，优选为0.3～2％。

8.根据权利要求6所述的一种用于电致变色玻璃的透明导电玻 璃制备方法，其特征在于，所述保护膜材料靶是氧化钛靶材、氧化硅 靶材、氮化硅靶材、氮化钛靶材或氧化钛、氧化硅、氮化硅、氮化钛 中的两种或两种以上混合材料靶材中的任意一种，所述保护膜厚度为 5～50nm。