[发明专利]一种降低光刻物镜压力灵敏度的方法及其应用

权利要求书

1.一种降低光刻物镜压力灵敏度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：对光刻物镜内的各个透镜间隔针对空气进行焦面或倍率的压力灵敏度测量，并对所有测量数据进行求和得到总和A；

S2：根据得到的总和A的正负情况，找出与总和A正负一致的N个压力灵敏度最大的透镜间隔，N为≥1的整数，其中，当所有透镜间隔中最大的压力灵敏度值大于总和A时，N＝1；否则，N≥2；

S3：对S2中选出的N个透镜间隔针对氦气进行焦面或倍率的压力灵敏度测量；

S4：根据S2中选出的N个透镜间隔在S1和S3中的压力灵敏度测量值，计算氦气对应的压力灵敏度减小率；

S5：计算该N个透镜间隔内氦气的比例，使各个透镜间隔的压力灵敏度测量数据之和接近于0。

2.根据权利要求1中所述的降低光刻物镜压力灵敏度的方法，其特征在于，所述S1中，还包括对各个透镜间隔进行编号。

3.根据权利要求1中所述的降低光刻物镜压力灵敏度的方法，其特征在于，所述S4中，氦气对应的压力灵敏度减小率a_i为：

其中，He_i、Air_i分别为第i个透镜间隔内对应氦气和空气的压力灵敏度。

4.根据权利要求1中所述的降低光刻物镜压力灵敏度的方法，其特征在于，所述S5中，根据S4中得到的压力灵敏度减小率和S1中得到的总和A计算N个透镜间隔内氦气的比例。

5.根据权利要求4中所述的降低光刻物镜压力灵敏度的方法，其特征在于，所述N个透镜间隔内氦气的比例b_i、压力灵敏度减小率a_i以及总和A之间满足：

其中，Air_i为第i个透镜间隔内对应空气的压力灵敏度。

6.一种光刻物镜，其特征在于，应用权利要求1-5中任一项所述的降低光刻物镜压力灵敏度的方法。

7.一种光刻装置，其特征在于，具备权利要求6所述的光刻物镜。