[发明专利]一种高灵敏度振荡场光波导传感器

权利要求书

1.一种高灵敏度振荡场光波导传感器，包括入射层、衬底层以及设于所述入射层与衬底层之间的导波层，所述入射层和衬底层分别包括附着于相应的入射玻璃和衬底玻璃上的贵金属薄膜，其特征是所述导波层包括一腔体，所述腔体包括一设于所述入射层与衬底层或其贵金属薄膜之间的一刚性围体。

2.根据权利要求1所述高灵敏度振荡场光波导传感器，其特征是所述刚性围体的相对两端端面相互平行。

3.根据权利要求1或2所述高灵敏度振荡场光波导传感器，其特征是所述刚性围体为一其板壁设有相应的腔体的玻璃板，该玻璃板的腔体的相应侧壁上开设有腔体的进出口。

4.根据权利要求1或2所述高灵敏度振荡场光波导传感器，其特征是所述刚性围体由一其中间设有腔体的玻璃板分切成两半部分构成，由该中间设有腔体的玻璃板的两半部分相互间隔的空间形成腔体的进出口。

5.根据权利要求1或5所述高灵敏度振荡场光波导传感器，其特征是所述衬底玻璃为光学玻璃片，所述入射玻璃为棱镜或光学玻璃片。

6.根据权利要求1或5所述高灵敏度振荡场光波导传感器，其特征是所述贵金属薄膜为金或银薄膜。