[发明专利]一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法

权利要求书

1.一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法，该方法是对单晶炉热场材料表面进行涂层，包括步骤如下：

以氮气为载气，将碳源气体通过化学气相沉积的方式在单晶炉热场材料表面沉积一层涂层，沉积温度900-960℃，沉积压力3-6kPa；

所述的碳源气体为丙烯；

碳源气体用量为0.2-0.5 kg/h，惰性气体流量为1-2 m³/h；

沉积时间为5-10 h；

所述的单晶炉热场材料为碳/碳复合材料坩埚、碳/碳复合材料坩埚筒；

所述的碳/碳复合材料坩埚或碳/碳复合材料坩埚筒按如下方法制备得到：

a）将碳/碳复合材料坩埚预制体或碳/碳复合材料坩埚筒预制体置于在真空感应炉中，3-6kPa下，利用丙烯为碳源气体，高纯氮气为载气，在900-950℃下进行反应，形成碳/碳复合材料坩埚前驱体或者碳/碳复合材料坩埚筒前驱体；

b) 将步骤a)制得的碳/碳复合材料坩埚前驱体或者碳/碳复合材料坩埚筒前驱体，在氩气的保护下，900℃高温煅烧48 h，即得到碳/碳复合材料坩埚或坩埚筒。

2. 根据权利要求1所述的增强单晶炉热场材料力学性能的方法，其特征在于，碳/碳复合材料坩埚或碳/碳复合材料坩埚筒的制备方法中，步骤a）中碳源气体用量为1-2 kg/h，惰性气体流量为1.5-2 m³/h；反应时间为70-100 h。