[发明专利]一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法

权利要求书

1.一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，

系统通电开机后，进行外设初始化配置，外设初始化结束后，提示系统开始通电工作；

系统进入硬件自检，硬件自检结果进行显示；硬件自检未通过则等待用户进行检修后重新进行自检；通过硬件自检后则进入数据初始化流程；数据初始化结束后系统进入待机状态；

系统在待机状态下实时监测控制及设置按钮的操作，并根据控制及设置按钮的操作，作出控制动作或者读取设置参数后，根据设置的参数作出控制动作；

所述控制及设置按钮的操作包括参数设置操作，系统实时监控用户参数设置操作状态，一旦进入参数设置操作状态，对系统运行过程中的扫频参数、波形匹配参数、谐振频率显示参数和谐振频率约束参数进行设置；扫频参数包括单位时间内扫频次数、扫频幅值、扫频速度、扫频步进；波形匹配参数包括搜索宽度、峰值约束；谐振频率显示参数包括频率校准；谐振频率约束参数包括极差设置；

所述控制及设置按钮的操作还包括进入单次测频流程的操作、读取控制策略参数的操作、读取在线测频参数的操作、进入修盘流程操作和进入在线测频流程的操作；

单次测频流程的操作包括：

单次测频流程根据扫频参数的设置对石英晶片进行谐振频率测试，单次测频流程对系统的AD采样数据的处理，通过波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值方法分析得出晶片的静态谐振频率、标准差、实时峰高、谐振线宽、单位时间内的谐振次数，测频结果发送进行显示。

2.根据权利要求1所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，读取控制策略参数的操作包括：

系统实时监控读取控制策略参数的操作的状态，一旦进入控制策略参数的操作，对系统运行过程中的在线测频控制策略参数、在线测频统计参数、圈数统计参数、修盘参数进行设置；在线测频控制策略参数包括目标频率到达次数、测频异常跳出次数、异常跳出时间、异常跳出极差设置、速率跳出上限、速率跳出下限；在线测频统计参数包括频率统计、速率统计、极差统计；圈数统计参数包括误触发滤波时间、延时滤波时间、开始统计圈数；修盘参数包括修盘时间、修盘异常退出时间。

3.根据权利要求1所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，进入修盘流程操作包括：系统实时监控修盘流程操作的状态，一旦进入修盘流程操作，开始修盘计时， 一旦修盘时间计时结束，结束修盘流程，系统将回到待机状态，系统记录修盘时间；如在修盘过程中遇到紧急暂停，则系统立即待机状态，系统记录修盘时间。

4.根据权利要求1所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，进入在线测频流程的操作包括：系统将启动研磨机并打开研磨砂开关；在线测频流程对系统的AD采样数据的处理，通过对AD采样数据进行波形匹配方法、数据平滑处理和求最大值方法计算出石英晶片的实时谐振频率，根据当前的统计参数计算出平均谐振频率、研磨速率和极差，测频结果发送进行显示；

在线测频流程中如果没有进行人为停止，系统将不断监控晶片实时频率，当平均谐振频率超过扫频范围的3/4，则扫频范围向前推移1/2，实现在线测频过程的实时监控。

5.根据权利要求4所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，当在线测频流程中如果出现测频异常、速率异常、极差异常、SD卡异常这些异常状态，将跳出在线测频流程，进入待机状态，同时记录跳出在线测频流程的原因。

6.根据权利要求1所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，所述外设初始化配置包括蜂鸣器初始化、指示灯初始化、研磨机启停控制端口初始化、研磨机圈数信号检测端口初始化、研磨砂启停控制端口初始化、AD采样初始化、串口初始化、掉电存储模块初始化、定时器初始化和DDS扫频模块初始化。

7.根据权利要求6所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，所述硬件自检包括掉电存储模块自检、DDS扫频模块自检、研磨机连接状态自检、研磨砂开关连接状态和圈数信号连接状态自检。

8.根据权利要求7所述的一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，其特征在于，数据初始化流程包括初始化控制及设置按钮，根据掉电存储模块中读取的数据设置主界面中的异常系统状态指示灯；初始化测量统计信息；从掉电存储模块读取在线测频参数、静态测试参数和控制策略参数，并发送显示；从掉电存储模块读取研磨起始频率、研磨目标频率和频率校准发送显示。