[发明专利]含有二溴甲烷的电光源气的配制方法

权利要求书

1.含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于：采用重量法配制，室温定量量取二溴甲烷液样V₁，加入与钢瓶连接的配气系统中，加热二溴甲烷液样使在配气系统中汽化，加热温度70～80℃，保温8～12min，再打开钢瓶阀门，用平衡气吹扫配气系统中二溴甲烷气体进入钢瓶，最后将钢瓶充装所述平衡气至目的产品电光源气的压力P，混匀；所述平衡气为氙气或氪气；

其中二溴甲烷液样的称取体积量V₁(ml)，按下式计算得到，

V₁＝P×V×C_i×R，

P为目的产品电光源气的压力，单位为兆帕(MPa)；

V为所述钢瓶容积，单位为升(L)；

C_i为目的产品电光源气二溴甲烷的浓度，单位为百万分之体积浓度(ppm)；

R为校正系数，为3.33×10^-5。

2.根据权利要求1所述的含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于，钢瓶及配气系统在进样前抽空至10Pa以下。

3.根据权利要求1所述的含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于，针管注射器取二溴甲烷液样前用无水乙醇清洗，并用高纯氮气吹扫干净。

4.根据权利要求1所述的含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于，配气系统中包括汽化器，所述二溴甲烷液样注入封闭的汽化器内，并在封闭的汽化器内加热气化。

5.根据权利要求4所述的含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于，平衡气吹扫二溴甲烷气体进入钢瓶采用变压吹扫的方式，具体步骤如下：在汽化器中充入平衡气至1MPa，打开钢瓶阀门，使汽化器中的气体进入钢瓶，关钢瓶阀门；

重复该步骤多次，使得二溴甲烷气体完全进入钢瓶。

6.根据权利要求1所述的含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于，钢瓶放在钢瓶混匀机上摇滚混匀。