[发明专利]硬脆材料的激光切割方法及激光切割机

权利要求书

1.一种激光切割机，其特征在于包括：一激光光源、一激光光束调控模块及一线性扫描运动机构，其中激光光束调控模块中使用一偏极化光学元件，通过该偏极化光学元件将激光光源的激光光束转型成一偏极化激光光束，因而减少激光光束能量过度集中分布所造成加工界面的温度差异，因而降低热应力所产生崩边的现象。

2.如权利要求1所述的激光切割机，其中该偏极化光学元件选自一偏极化锥镜。

3.一种激光切割方法，其特征在于，其使用包括下列装置进行激光切割程序：

提供一激光光源，及其光束的能量控制器；

提供一激光光学系统，其包括有扩束镜、反射镜组、曲面镜及物镜光学元件的光束调控模块；以及

提供一线性扫描运动机构，激光切割程序中利用线性扫描运动机构，将该光学系统所产生的聚焦激光光束循序扫描于被加工物表面上；

其中光束调控模块中使用至少一偏极化锥镜，通过该偏极化锥镜将高斯分布的激光光束转型成一贝索分布的激光光束，同时偏极化该激光光束。

4.一种激光切割机的光学系统，其特征在于包括一激光光源及一激光光束调控模块；

其中激光光源包括一激光光源装置，及其激光光束的能量控制器；

其中激光光束调控模块至少包括：

一扩束镜，其用以扩大该激光光束的直径；

一偏极化锥镜，其通过偏极化锥镜将该激光光束形成一偏极化激光光束；

一反射镜组，其包括数反射镜，其用以调控激光光束的路径；

一曲面镜，其用以调整激光光束的聚焦景深；以及

一物镜，其用于聚焦该激光光束，将激光光束聚焦于被加工物件表面上。