[发明专利]基于锥形金属-电介质多层光栅结构的偏振无关宽带吸收器在审
| 申请号： | 201610049732.9 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN105652354A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;周常河;李民康;项长铖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/42 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 锥形 金属 电介质 多层 光栅 结构 偏振 无关 宽带 吸收 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于红外波段的基于锥形金属-电介质多层光栅结构的偏振无关宽带吸收器， 其特征在于，包括自上而下的金属-电介质多层光栅、金属薄膜反射层和电介质衬底；所述 的金属-电介质多层光栅的周期d为1640～1645纳米，该金属-电介质多层光栅由N对金属光 栅和电介质光栅叠加组成，且占空比由上而下逐渐增加，金属光栅和电介质光栅的厚度分 别为5.5～6.5纳米和257～259纳米，顶部光栅和底部光栅的宽度分别为100～105纳米和 1595～1600纳米，金属薄膜反射层的厚度大于光在红外波段的趋肤深度。
2.根据权利要求1所述的基于锥形金属-电介质多层光栅结构的偏振无关宽带吸收器， 其特征在于所述的光栅周期d为1643纳米，金属光栅的厚度为6纳米，电介质光栅的厚度为 258纳米，顶部光栅的宽度为103纳米，底部光栅的宽度为1599纳米，金属薄膜反射层的厚度 为200纳米。
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