[发明专利]基板移载装置有效
| 申请号： | 201610052086.1 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105600447B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 夏良烘;徐向阳;陈杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 承载板 夹钳 夹持端部 基板移载装置 固定基板 夹紧状态 基板 摩擦 产品品质 金属异物 四周边缘 基板夹 伸入 | ||
1.一种基板移载装置，其特征在于，包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2)；
所述承载板(1)用于放置基板；所述夹钳(2)用于固定基板；使用所述夹钳(2)固定基板时，所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住；所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11)，从而使得所述承载板(1)上未放置基板时，所述夹钳(2)的夹持端部(223)与承载板(1)不接触而不产生摩擦；
所述夹钳(2)包括两端固定于所述承载板(1)上的转轴(21)、可旋转地连接于所述转轴(21)上的夹持片(22)、及套设于所述转轴(21)上的扭力弹簧(23)；所述夹持片(22)在所述扭力弹簧(23)的弹力作用下与所述承载板(1)相夹紧。
2.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述夹持片(22)包括夹持片本体(221)、位于所述夹持片本体(221)一端的连接部(222)、及位于所述夹持片本体(221)另一端的数个夹持端部(223)。
3.如权利要求2所述的基板移载装置，其特征在于，所述连接部(222)呈卷曲状，所述转轴(21)穿过所述连接部(222)使得所述夹持片(22)可绕所述转轴(21)旋转。
4.如权利要求3所述的基板移载装置，其特征在于，所述夹持端部(223)相对于所述夹持片本体(221)向夹钳(2)的夹紧方向弯折；所述承载板(1)上未放置基板时，所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)伸入所述凹槽(11)中。
5.如权利要求2所述的基板移载装置，其特征在于，所述夹持端部(223)的数量为两个。
6.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述承载板(1)呈框体状。
7.如权利要求6所述的基板移载装置，其特征在于，所述凹槽(11)贯穿所述承载板(1)的上下表面及内周面。
8.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述承载板(1)的材料为铝。
9.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述夹持片(22)的材料为钢。
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