[发明专利]有机发光元件的有机层的制作方法

权利要求书

1.一种有机发光元件的有机层的制作方法，是通过可控制蒸镀顺序的一台蒸镀机台的辅助而完成，且所述蒸镀机台包括：

一机台主体，具有一蒸镀空间；

一加热蒸镀盘，设置于该蒸镀空间的底部，且该加热蒸镀盘之上设置有复数个加热电极；其中，该加热电极具有一容器固定件；

复数个间隔板，每一个间隔板设置于两个相邻的加热电极之间；

一真空模块，连接于该机台主体，用以使该蒸镀空间呈现真空状态；

一基板载具，相对于该加热蒸镀盘而设置在该蒸镀空间的顶部，用以乘载至少一基板，使该基板相对于该加热电极；

一膜厚感应器，设置于该蒸镀空间内；以及

一挡板，设置于该蒸镀空间内；

其特征在于，所述制作方法包含以下步骤：

(1)将复数种有机材料分别秤量配置；

(2)使用至少一种有机溶剂溶解该复数种有机材料，以形成复数种有机材料溶液；

(3)依据调配比例，均匀地混合该复数种有机材料溶液，以获得一混合溶液；

(4)将该混合溶液置入一第一蒸镀物质容器，进行真空干燥程序并产生一第一固态混合物质；接着，将该第一蒸镀物质容器放置于该复数个加热电极的一第一加热电极的容器固定件之上；

(5)升起该复数个间隔板的一第一间隔板，并启用该第一加热电极加热所述第一蒸镀物质容器，利用气相沉积的方式将该第一固态混合物质沉积至该基板的表面，而于该基板的表面形成一第一有机层；

(6)利用该膜厚感应器监测该第一有机层的膜厚；

(7)于该第一有机层的膜厚达到预定的厚度之后，启用该挡板遮蔽该基板，避免所述第一固态混合物质继续沉积至该基板的表面；

(8)关闭该第一加热电极，完成所述有机发光元件的该第一有机层的制作程序。

2.根据权利要求1所述的有机发光元件的有机层的制作方法，其特征在于，更包括下述步骤：

(9)是否需要继续制作一第二有机层，若是，则执行步骤(10)；若否，则步骤结束；

(10)重复前述步骤(1)至步骤(3)；

(11)将该混合溶液置入一第二蒸镀物质容器，进行真空干燥程序并产生一第二固态混合物质；接着，将该第二蒸镀物质容器放置于该复数个加热电极的一第二加热电极的容器固定件之上；

(12)升起该复数个间隔板的一第二间隔板，并启用该第二加热电极加热所述第二蒸镀物质容器，进而利用气相沉积的方式将该第二固态混合物质沉积至该基板的表面，并于该第一有机层之上形成一第二有机层；

(13)利用该膜厚感应器监测该第二有机层的膜厚；

(14)于该第二有机层的膜厚达到预定的厚度之后，启用该挡板遮蔽该基板，避免所述第二固态混合物质继续沉积至该基板的表面；

(15)关闭该第二加热电极，完成所述有机发光元件的该第二有机层的制作程序。

3.根据权利要求2所述的有机发光元件的有机层的制作方法，其特征在于，该有机溶剂选自下列群组的任一者：甲苯溶剂、丙酮溶剂以及四氢呋喃溶剂。

4.根据权利要求2所述的有机发光元件的有机层的制作方法，其特征在于，该有机材料为一发光材料，且该发光材料选自下列群组的任一者：荧光发光材料、磷光发光材料以及包含上述两材料的混合材料。

5.根据权利要求2所述的有机发光元件的有机层的制作方法，其特征在于，该有机材料为一主体材料，且该主体材料选自下列群组的任一者：Alq3材料、DPVBi材料、BANE材料、Rubrene材料、CBP材料以及上述材料的混合材料。

6.根据权利要求2所述的有机发光元件的有机层的制作方法，其特征在于，该有机材料选自下列群组的任一者：电子传输层材料、电子注入层材料、空穴传输层材料、空穴注入层材料、空穴阻挡层材料以及功能性辅助材料。

7.根据权利要求1所述的有机发光元件的有机层的制作方法，其特征在于，该基板为一硬质基板或一可挠性基板。