[发明专利]一种晶体生长方法和设备

权利要求书

1.一种晶体生长设备，其特征在于：包括炉壳、保温装置、坩埚、籽晶杆、加热装置、上重量传感器和/或下重量传感器、控制装置；所述炉壳为中空壳体，所述保温装置设置于炉壳内，所述加热装置和坩埚设置于保温装置内，所述加热装置对所述坩埚加热，所述控制装置分别与所述籽晶杆、加热装置、上重量传感器和/或下重量传感器电连接；所述控制装置获得加热装置的实时加热温度，并绘制温度随时间变化的温度曲线，选取温度曲线中斜率最大的点对应的温度为下晶温度；并且所述控制装置检测籽晶质量增减速度，并根据籽晶的增减速度控制加热装置对坩埚的加热以及籽晶杆的上移、下移或旋转；所述晶体生长设备还包括一对流控制装置，所述对流控制装置包括对流控制器、风机、输气通道和调压器；所述对流控制器中心为镂空结构，其设置有以对流控制器轴线中心对称的第一进气口和第二进气口；所述风机通过输气通道分别与第一进气口和第二进气口连接；所述调压器与风机电连接；所述对流控制装置的对流控制器设置于炉壳内部的保温装置的上方，所述籽晶杆分别穿过对流控制器和保温装置的上方。

2.根据权利要求1所述的晶体生长设备，其特征在于：所述控制装置包括温控模块、温度曲线绘制模块、下晶温度选取模块、监控模块和提拉旋转控制模块；所述温控模块分别与下晶温度选取模块和提拉旋转控制模块电连接，所述温度曲线绘制模块与下晶温度选取模块电连接，所述监控模块与提拉旋转控制模块电连接；所述温控模块和温度曲线绘制模块分别加热装置电连接，所述提拉旋转控制模块与籽晶杆电连接，所述监控模块分别与上重量传感器和/或下重量传感器电连接；所述温控模块实时测量坩埚温度并根据坩埚测量的温度控制加热装置；所述温度曲线绘制模块根据温控模块获取的实时温度绘制加热装置温度随时间变化曲线；所述下晶温度选取模块根据温度曲线绘制模块获取的温度随时间变化曲线，选取变化曲线中斜率最大点对应的温度为下晶温度；所述监控模块监控籽晶杆上籽晶重量和/或坩埚内晶体重量；所述提拉旋转控制模块根据温控模块获得的坩埚温度、以及监控模块获得的籽晶杆上籽晶重量和/或坩埚内晶体重量，调节籽晶杆提拉或旋转的速度。