[发明专利]一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层的制备方法有效
申请号: | 201610065100.1 | 申请日: | 2016-01-27 |
公开(公告)号: | CN105671503B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 刘家琴;曹玉杰;张鹏杰;张浩;邓少杰;吴玉程 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/02 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 何梅生;卢敏 |
地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 烧结 ndfeb 磁体 表面 高耐蚀 复合 涂层 制备 方法 | ||
本发明公开了一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层的制备方法,其特征在于:对烧结NdFeB磁体进行镀膜前处理、炉内前处理,然后通过磁控溅射的方式沉积Zn薄膜,再通过真空蒸镀的方式沉积Al薄膜,继续重复沉积Zn薄膜和Al薄膜,即完成。本发明将磁控溅射Zn薄膜工艺和真空蒸镀Al薄膜工艺相结合,金属Zn与Al之间能很好地匹配,Zn/Al复合薄膜之间的结合力很高;因此,通过在NdFeB基体上交替沉积Zn薄膜和Al薄膜,能够显著提高Al薄膜与基体的结合力,而且Zn薄膜能够有效地打断铝膜的柱状晶结构生长,从而阻断了腐蚀液渗透到达基体的快速腐蚀通道,明显改善NdFeB磁体的耐腐蚀性能。
技术领域
本发明涉及一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层的制备方法,属于磁性材料表面防护领域。
背景技术
烧结NdFeB永磁体自1983年问世以来,以其优异的磁性能而被称为“磁王”,迅速在各类磁性材料中占据主导地位,广泛应用于电子、电机、汽车、电力、医疗器械、仪器仪表、航空航天等诸多领域。但是,由于烧结NdFeB永磁体制备工艺的特殊性,使其具有多相结构的特点,导致烧结NdFeB永磁体存在耐蚀性差、自粉化现象严重等缺点,严重限制了其应用领域的拓展。目前,用于提高烧结NdFeB永磁体耐腐蚀性的方法主要有以下两种:一是添加合金元素法;二是在磁体表面添加防护层。其中合金化法会在一定程度上降低磁体磁性能,且效果不明显;而采用表面防护处理在不影响磁性能的前提下,能够明显改善磁体的耐腐蚀性能。因此,表面防护处理是提高永磁体耐腐蚀性能的一种经济、有效的方法。
目前,用于在烧结NdFeB磁体表面添加防护层的方法主要有:电镀、化学镀、电泳、物理气相沉积等。其中物理气相沉积镀膜是一种环境友好型的添加表面防护层技术,近年来,真空热蒸发镀铝技术被广泛应用于烧结NdFeB磁体的表面防护。但是,由于所镀铝薄膜的基体/铝膜之间结合力较差,而且具有面心立方结构的铝膜呈柱状晶结构生长,晶间有明显的间隙贯穿薄膜,这些晶间间隙将成为腐蚀液渗透到达基体的快速腐蚀通道,并最终导致磁体表面所涂覆铝薄膜的腐蚀失效。有文献表明,磁控溅射钛薄膜的晶体结构为密排六方结构,通过溅射多种结构金属薄膜的交替沉积能有效抑制Al薄膜柱状晶结构的生长,能够有效阻断腐蚀液渗入铝膜的快速腐蚀通道。但是,由于Ti元素成本较高,采用该方法制备复合涂层的成本较高,且磁控溅射技术镀膜的效率较低,设备投入较高,难以实现大规模产业化生产。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供一种烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层的制备方法,旨在有效改善烧结NdFeB磁体表面Al薄膜的防腐性能及镀膜与基体之间的结合力。
为解决上述问题,本发明所采取的技术方案如下:
本发明烧结NdFeB磁体表面高耐蚀复合涂层的制备方法,其特点在于包括以下步骤:
步骤一、对烧结NdFeB磁体进行镀膜前处理;
步骤二、对经步骤一处理后的烧结NdFeB磁体进行炉内前处理;
步骤三、通过磁控溅射的方式在烧结NdFeB磁体表面沉积Zn薄膜;
步骤四、通过真空蒸镀的方式在步骤三沉积的Zn薄膜表面再沉积Al薄膜;
步骤五、重复步骤三、步骤四。
优选的,步骤一所述镀膜前处理的方法为酸洗、喷砂或抛光。
优选的,步骤二所述炉内前处理的工艺过程包括:将经步骤一处理后的烧结NdFeB磁体装入离子镀膜机内的网笼中,采用循环氩离子轰击工艺对烧结NdFeB磁体进行轰击,保持真空室真空度为3~10Pa、Ar2流量为130~180sccm,轰击30~50min。
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