[发明专利]电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法

权利要求书

1.电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，包括箱体(1)、盖板(7)以及容纳于箱体(1)、盖板(7)之内的第一可动镜面支撑(2)、第二可动镜面支撑(4)、第一反射镜(13)、第二反射镜(11)、第一多层线圈(16)、第二多层线圈(6)；

所述第一可动镜面支撑(2)与第二可动镜面支撑(4)之间的间距通过第一间隔层(3)控制，第二可动镜面支撑(4)与盖板(7)之间的间距通过第二间隔层(5)控制；

所述的第一可动镜面支撑(2)和第二可动镜面支撑(4)均分别包括中间的工作镜面及四周的框架，所述第一可动镜面支撑(2)的中间工作镜面通过第一支撑梁(18)与第一可动镜面支撑(2)的四周框架连接，所述第二可动镜面支撑(4)的中间工作镜面通过第二支撑梁(19)与第二可动镜面支撑(4)的四周框架连接；

所述第一可动镜面支撑(2)和第二可动镜面支撑(4)的中间工作镜面上分别有第一薄膜支撑(12)和第二薄膜支撑(10)，第一反射镜(13)制作在第一薄膜支撑(12)上，第二反射镜(11)制作在第二薄膜支撑(10)上；

所述第一可动镜面支撑(2)和第二可动镜面支撑(4)的四周框架外周均固定在箱体(1)上，第一可动镜面支撑(2)和第二可动镜面支撑(4)的四周框架上分别有制作有第一多层线圈(16)的第一PCB多层板(17)，和制作有第二多层线圈(6)的第二PCB多层板(20)；所述第一多层线圈(16)和第二多层线圈(6)均由并联的多个子多层线圈组成，两者的多个子多层线圈位置精确对应；且所述的第一多层线圈(16)上多个子多层线圈的电流方向一致，第二多层线圈(6)上多个子多层线圈的电流方向一致；

所述盖板(7)、第二可动镜面支撑(4)、第一可动镜面支撑(2)、箱体(1)上相应位置分别有盖板通光孔(8)、第二可动镜面支撑通光孔(9)、第一可动镜面支撑通光孔(14)、箱体通光孔(15)。

2.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述第一支撑梁(18)和第二支撑梁(19)形式为直梁、蟹臂梁、折叠梁中的一种。

3.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的第一可动镜面支撑(2)和第二可动镜面支撑(4)材料为FR-4或CEM-3，通过粘接工艺或者螺钉连接，与箱体(1)固连。

4.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的第一反射镜(13)和第二反射镜(11)为半透半反膜，其形式为金属反射镜或布拉格反射镜。

5.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的盖板通光孔(8)、第二可动镜面支撑通光孔(9)、第一可动镜面支撑通光孔(14)、箱体通光孔(15)的形状为正方形或者圆形。

6.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器的制作工艺，其特征在于，包括如下基本步骤：

步骤1：用标准PCB生产工艺在第一PCB多层板(17)上制作第一多层线圈(16)，之后在第一多层板(17)上加工出第一支撑梁(18)、通光孔(14)，得到第一可动镜面支撑(2)；

步骤2：在第一薄膜支撑(12)上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第一反射镜(13)；

步骤3：把第一薄膜支撑(12)用粘接工艺固定到第一可动镜面支撑(2)的中间工作镜面上；

步骤4：用标准PCB生产工艺在第二PCB多层板(20)上制作第二多层线圈(6)，之后在第二多层板(20)上加工出第二支撑梁(19)、通光孔(9)，得到第二可动镜面支撑(4)。

步骤5：在第二薄膜支撑(10)上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第二反射镜(11)；

步骤6：把第二薄膜支撑(10)用粘接工艺固定到第二可动镜面支撑(4)的中间工作镜面上；

步骤7：在金属或其他材料上制作盖板(7)，并在上面加工盖板通光孔(8)；

步骤8：在金属或其他材料上制作箱体(1)，并在上面加工箱体通光孔(15)；

步骤9：将装配好的第一可动镜面支撑(2)用粘接工艺固定到箱体(1)上，第一反射镜(13)向上；

步骤10：将间隔层(3)用粘接工艺固定到第一可动镜面支撑(2)上紧靠箱体(1)的位置；

步骤11：将装配好的第二可动镜面支撑(4)用粘接工艺固定到间隔层(3)上，第二反射镜(11)朝下，与第一反射镜(13)相对；

步骤12：将间隔层(5)用粘接工艺固定到第二可动镜面支撑(4)上紧靠箱体(1)的位置；

步骤13：将盖板(7)用粘接工艺或者螺钉连接与箱体(1)固定到一起，形成完整滤波器。