[发明专利]基于半模基片集成波导的开关单元

权利要求书

1.一种基于半模基片集成波导的开关单元，其特征在于，包括半模基片集成波导和阻抗器(5)，所述半模基片集成波导包括上层金属面(1)、中间介质板(2)和下层金属面(3)，中间介质板(2)位于上层金属面(1)和下层金属面(3)之间，上层金属面(1)和下层金属面(3)之间设置一排金属柱线列(4)，金属柱线列均包括若干金属柱，每个金属柱均与上层金属面(1)和下层金属面(3)相接触；所述阻抗器(5)设置在间介质板(2)上，通过开关元件(6)与半模基片集成波导连接。

2.根据权利要求1所述的基于半模基片集成波导的开关单元，其特征在于，开关元件(6)为PIN二极管或MEMS开关。

3.根据权利要求1所述的基于半模基片集成波导的开关单元，其特征在于，阻抗器(5)为微带传输线。

4.根据权利要求3所述的基于半模基片集成波导的开关单元，其特征在于，所述微带传输线的长度为1/4波导波长。

5.根据权利要求1所述的基于半模基片集成波导的开关单元，其特征在于，基片集成波导开关单元的上层金属面(1)和下层金属面(3)之间的距离为0.125mm、0.254mm、0.508mm、0.762mm、1.016mm或1.524mm。

6.根据权利要求1所述的基于半模基片集成波导的微波开关单元，其特征在于，所述中间介质板(2)的介电常数为2-20。

7.根据权利要求1所述的基于半模基片集成波导的开关单元，其特征在于，所述金属柱半径为0.2～0.5mm，每两个金属柱之间的距离为0.2～2mm。