[发明专利]一种基于数字微镜器件的像素级扫描光谱成像系统及成像方法有效
申请号: | 201610067454.X | 申请日: | 2016-01-30 |
公开(公告)号: | CN105527021B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 虞益挺;闫治晚 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 吕湘连 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 数字 器件 像素 扫描 光谱 成像 系统 方法 | ||
1.一种基于像素级扫描光谱成像系统的像素级扫描光谱成像方法,所述像素级扫描光谱成像系统主要包括:目标1、前置成像系统2、DMD3、准直镜4、光栅5、成像物镜6、CCD相机7;目标1与DMD3分别放置在前置成像系统2的物面与像面处,DMD3上的微镜将前置成像系统2所成的目标像反射给准直镜4,经过准直镜4的光线平行照射到光栅5上,光栅5色散后的光谱最后由成像物镜6成像到CCD相机7上;
所述的前置成像系统2包括前置成像镜,它将目标成像到第一像面处;
所述的DMD3包括多种微镜阵列;具有两种稳定的偏转状态:正偏转和负偏转,正负偏转角度相同,方向相反;当微镜处于正偏转时,将选通目标像的光反射到后续光路中;当微镜处于负偏转时,将目标像的光反射到后续光路外,从而实现像素扫描功能;
所述的准直镜4、前置成像系统2、DMD3构成了像素扫描系统;其中,DMD3放置在前置成像系统2的像面处;准直镜4放置在DMD3的出射光路中;
所述的光栅5可以为反射式光栅或透射式光栅;
所述的光栅5、成像物镜6、CCD相机7构成了分光成像系统;其中,光栅5、CCD相机7分别放置在成像物镜6的物面和像面处,
其特征在于,包括以下基本步骤:
步骤1:通过控制DMD3使得第1列微镜偏转,选通目标像的光进入后续光路系统;
步骤2:选通的光经过后续光路系统使光谱平行照射到CCD相机7上;
步骤3:定义光谱色散方向为X轴方向,与X轴垂直为Y轴方向,目标光通过光栅5色散后,在X轴方向上不同波长依次色散开,在Y轴方向上得到不同空间位置的光谱分量;
步骤4:CCD记录、存储探测到的第1幅光谱数据图,完成第1列像素的光谱成像;
步骤5:控制DMD使得第2列的微镜偏转,选通目标像的光进入后续光路系统;
步骤6:由于目标像在X轴方向上发生了偏移,因此对应色散后的光谱在CCD相机上也相应发生了偏移;记录此时的光谱数据图,完成第2列像素的光谱成像;
步骤7:控制DMD微镜的偏转,使得系统依次完成第3、4、……、n-1列目标像的光谱成像;
步骤8:控制DMD使得第n列的微镜偏转,选通目标像的光进入后续光路系统;
步骤9:由于不同空间位置在X轴方向上的光谱像发生了偏移,因此只要保证最后一列目标像的光谱能完整的入射到CCD相机上,就可完成对整个空间目标的光谱成像;
步骤10:对CCD相机测得的n幅光谱图像进行数据处理,得出目标的二维空间景象和一维光谱信息,完成目标的光谱成像。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学,未经西北工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610067454.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。