[发明专利]晶圆边缘量测模组

权利要求书

1.一种晶圆边缘量测模组，其特征在于，包括：

至少一线性扫描摄影机，架设在晶圆边缘的预定处；

至少一凸透镜组，位于该线性扫描摄影机的前方，使该线性扫描摄影机透过该凸透镜组后，再对该晶圆边缘的中端边缘进行线性扫描；

至少一反射镜组，接近该晶圆边缘，且其由一第一及第二反射镜所构成，并使反射面朝前，又该第一及第二反射镜以该线性扫描摄影机为中央基准，呈对称状而使两侧向前倾斜，使该线性扫描摄影机透过该第一及第二反射镜的反射面后，再分别对该晶圆边缘的上斜面边缘及下斜面边缘进行线性扫描；以及

至少三个光源元件组，其光源分别投射至所要线性扫描该晶圆边缘的上斜面边缘、中端边缘及下斜面边缘上的像素，以分别形成不同暗场光源，令该晶圆边缘的全部像素呈现低灰度值区域，当该线性扫描摄影机线性扫描该晶圆边缘的部分像素呈现高灰度值区域时，则量测出该高灰度值区域为该晶圆边缘的缺陷(decfect)。

2.根据权利要求1所述的晶圆边缘量测模组，其特征在于，所述光源元件组由一第一及第二光源组件所构成，其接近该晶圆边缘，并使光源投射朝前，且该第一及第二光源组件以该线性扫描摄影机为中央基准，呈对称状而使两侧向前倾斜，使该第一及第二光源组件呈现非180°平行的光源夹角，且令该光源夹角在60°～160°之间。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆边缘量测模组，其特征在于，所述第一及第二反射镜呈现非180°平行的反射夹角，且令该反射夹角在60°～160°之间。

4.根据权利要求3所述的晶圆边缘量测模组，其特征在于，还包括一屏幕，观察该晶圆边缘的缺陷。

5.根据权利要求3所述的晶圆边缘量测模组，其特征在于，还包括一缺陷判断单元，自动判断该晶圆边缘的缺陷。