[发明专利]一种用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉及其制备方法

权利要求书

1.一种用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，包括坩埚、围绕在所述坩埚外壁四周且与所述坩埚外壁紧密接触的护板以及盖住所述护板围成的口部的盖板，所述护板远离坩埚的外表面和所述盖板远离坩埚的外表面均设有能与碳反应的涂层，所述涂层的材质为石英、硅粉和硅溶胶中的至少一种，所述石英和所述硅粉中的至少一种经过氧化处理。

2.如权利要求1所述的用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，所述涂层的材质为所述石英和所述硅溶胶形成的混合物，所述石英和所述硅溶胶的质量比为1:1-3。

3.如权利要求1所述的用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，所述石英和所述硅粉中的至少一种经过过氧化氢氧化处理。

4.如权利要求3所述的用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，所述石英和所述硅粉中的至少一种的氧化处理的方法为：将所述石英和所述硅粉中的至少一种与所述过氧化氢混合，搅拌5-20min后，浸泡0.5-5h，得到过氧化氢氧化处理的石英和经过过氧化氢氧化处理的硅粉中的至少一种。

5.如权利要求4所述的用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，所述石英和所述硅粉中的至少一种与所述过氧化氢的质量比为1:1-4。

6.如权利要求1所述的用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，所述涂层的厚度为50μm-150μm。

7.如权利要求1所述的用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉，其特征在于，所述坩埚的口沿和所述坩埚内壁靠近所述坩埚口沿的位置中的至少一处位置设有所述涂层。

8.一种用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供护板和盖板，所述护板包括相对设置的外表面和内表面，所述盖板包括相对设置的外表面和内表面，在所述护板的外表面和所述盖板的外表面均刷涂或喷涂有能与碳反应的涂层，所述涂层的材质为石英、硅粉和硅溶胶中的至少一种，所述石英和所述硅粉中的至少一种经过氧化处理；

将所述护板围绕在在所述坩埚外壁四周，使所述护板的内表面与所述坩埚外壁紧密接触，所述盖板的内表面盖住所述护板围成的口部，得到用于减少多晶硅锭碳含量的铸锭炉。