[发明专利]一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器

权利要求书

1.一种双端对谐振式声表面波检测器，包括制作在基片(1)上的双端对谐振器，其特征在于，在所述基片(1)上设置有第二叉指换能器(3)，在所述第二叉指换能器(3)的两侧分别设置第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4)，所述第二叉指换能器(3)和所述第一叉指换能器(2)形成间隔(7)，所述第二叉指换能器(3)和所述第三叉指换能器(4)形成间隔(8)；在所述第一叉指换能器(2)的另一侧设置有第一金属反射栅阵(5)，在所述第三叉指换能器(4)的另一侧设置有第二金属反射栅阵(6)；其中，

所述第一叉指换能器(2)、所述第二叉指换能器(3)和所述第三叉指换能器(4)的同步频率相同；

所述间隔(7)与所述间隔(8)相等，且为所述第一叉指换能器(2)的波长、所述第二叉指换能器(3)的波长或所述第三叉指换能器(4)的波长的0-3.5倍，其中，所述同步频率与所述波长的关系为：v＝λ×f，式中v为材料中的声速、f为所述同步频率以及λ为所述波长。

2.根据权利要求1所述的声表面波检测器，其特征在于，所述第一叉指换能器(2)、所述第二叉指换能器(3)、所述第三叉指换能器(4)、所述第一金属反射栅阵(5)、所述第二金属反射栅阵(6)的金属化比相等，所述金属化比为0.1-0.6。

3.根据权利要求1所述的声表面波检测器，其特征在于，所述第一金属反射栅阵(5)和所述第二叉指换能器(3)形成间隔(9)，所述第二金属反射栅阵(6)与所述第三叉指换能器(4)形成间隔(10)；

所述间隔(9)和所述间隔(10)相等，且为所述第一叉指换能器(2) 的波长、所述第二叉指换能器(3)的波长或所述第三叉指换能器(4)的波长的0.25-2.5倍。

4.根据权利要求1所述的声表面波检测器，其特征在于，所述基片(1)为36°YX-LiTaO₃基片、42°YX-LiTaO₃基片、ST-X石英基片、64°YX-LiNbO₃基片和41°YX-LiNbO₃基片中的一种。

5.根据权利要求1所述的声表面波检测器，其特征在于，所述第一金属反射栅阵(5)和所述第二金属反射栅阵(6)的同步频率相同；

所述第一叉指换能器(2)、所述第二叉指换能器(3)或所述第三叉指换能器(4)的同步频率是所述第一金属反射栅阵(5)或所述第二金属反射栅阵(6)的同步频率的0.95-1.05倍。

6.根据权利要求1所述的声表面波检测器，其特征在于，所述第一叉指换能器(2)、所述第二叉指换能器(3)、所述第三叉指换能器(4)、所述第一金属反射栅阵(5)和所述第二金属反射栅阵(6)不加权。

7.根据权利要求1-6所述的声表面波检测器，其特征在于，所述声表面波检测器的频率响应曲线中两个纵向模式的能量幅度差距＞10dB，Q值＞2000，插入损耗＜6dB。