[发明专利]基板检测设备及其工作方法

权利要求书

1.一种基板检测设备，其特征在于，用于对传送的基板进行检测，所述基板检测设备包括多个检测单元和与所述多个检测单元分别连接的基板信息收集器，每一检测单元包括：

用于与传送的基板形成面接触的接触部；

检测所述接触部与所述传送的基板的接触状态的处理部；

在至少一个所述接触部与所述传送的基板形成面接触后，所述基板信息收集器接收所述处理部的检测结果，并根据所述处理部的检测结果判断所述基板是否损坏，具体用于在所述检测结果表明至少一个所述接触部与所述基板未形成面接触时，判断所述基板损坏；

所述接触部包括：

用于与传送的基板形成面接触的第一部分；

与所述第一部分固定连接的第二部分；

在所述第一部分与所述传送的基板形成面接触时，能够带动所述第二部分从第一状态切换至第二状态；

所述处理部的检测结果为所述第二部分所处的状态；

所述传送的基板的运动方向为第一方向，所述多个接触部沿第二方向排列，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述多个第一部分在所述第二方向上的宽度之和不小于所述基板在所述第二方向上的宽度。

2.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，

所述基板信息收集器具体用于在所述检测结果为所述第二部分处于第一状态时，判断所述基板与所述第一部分接触的位置损坏；在所述检测结果为所述第二部分处于第二状态时，判断所述基板与所述第一部分接触的位置未损坏。

3.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，所述第二部分包括磁性部件，所述处理部包括霍耳效应磁强计半导体矩形薄片和与所述霍耳效应磁强计半导体矩形薄片连接的信号转换器；

所述磁性部件位于所述霍耳效应磁强计半导体矩形薄片正上方；

在所述磁性部件处于第一状态时，所述信号转换器输出第一电信号；

在所述磁性部件处于第二状态时，所述信号转换器输出第二电信号；

所述基板信息收集器具体用于在至少一个所述第一部分与所述传送的基板形成面接触后，接收所述信号转换器输出的电信号，并根据接收到的电信号判断所述基板是否损坏。

4.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，所述第二部分设置有过孔，所述检测单元还包括：

框架；

架设在所述框架上的绕动杆；

所述绕动杆贯穿所述第二部分的过孔，所述第二部分能够绕所述绕动杆转动，从而在第一状态和第二状态之间切换。

5.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，所述第一部分呈圆饼状，所述第一部分的曲面用于与所述传送的基板形成面接触。

6.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，所述第一部分为采用塑料、橡胶或树脂制成。

7.一种如权利要求1-6中任一项所述的基板检测设备的工作方法，其特征在于，包括：

使所述接触部与传送的基板形成面接触；

检测所述接触部与所述传送的基板的接触状态；

根据所述接触部与所述传送的基板的接触状态判断所述基板是否损坏。

8.根据权利要求7所述的基板检测设备的工作方法，其特征在于，所述接触部包括用于与传送的基板形成面接触的第一部分和与所述第一部分固定连接的第二部分，在所述第一部分与所述传送的基板形成面接触时，能够带动所述第二部分从第一状态切换至第二状态，所述方法具体包括：

在所述第二部分处于第一状态时，判断所述基板与所述第一部分接触的位置损坏；在所述第二部分处于第二状态时，判断所述基板与所述第一部分接触的位置未损坏。