[发明专利]紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统有效

专利信息
申请号: 201610078255.9 申请日: 2016-02-03
公开(公告)号: CN105527706B 公开(公告)日: 2018-03-02
发明(设计)人: 庄怀港;谭羽;白学坤 申请(专利权)人: 上海仪万光电科技有限公司
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;G02B13/00;G02B13/14
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司31225 代理人: 赵志远
地址: 200072 上海市闸北*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 紫外 激光 theta 扫描 基于 该场 光学 系统
【权利要求书】:

1.一种紫外激光远心F-theta扫描场镜,其特征在于,从激光入射方向开始,包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜,其中所述的第一透镜为双凹负透镜,第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜,第三透镜为双凸正透镜,第四片为双凸正透镜;

第一透镜的两个球面S1和S2,其曲率半径分别为-27.65mm和322.96mm,第一透镜的中心厚度为3mm,材料为熔石英玻璃,其折射率为Nd=1.46,阿贝数Vd为68;

第二透镜的两个球面S3和S4,其曲率半径分别为-114.02mm和-48.81mm,第二透镜的中心厚度为18.28mm,材料为熔石英玻璃,其折射率为Nd=1.46,阿贝数Vd为68;

第三透镜的两个球面S5和S6,其曲率半径分别为478.12mm和-58.95mm,第三透镜的中心厚度为14.87mm,材料为熔石英玻璃,其折射率为Nd=1.46,阿贝数Vd为68;

第四透镜的两个球面S7和S8,其曲率半径分别为250.55mm和-182.99mm,第四透镜的中心厚度为9.74mm,材料为熔石英玻璃,其折射率为Nd=1.46,阿贝数Vd为68;

第一透镜与第二透镜之间在光轴上的空气间隙为2.38mm,第二透镜与第三透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm,第三透镜与第四透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm,第四透镜与像面在光轴上的空气间隙为146mm。

2.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜,其特征在于,所述的扫描场镜的入射光束波长为355nm。

3.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜,其特征在于,所述的扫描场镜的全视场内像散<0.05mm。

4.一种基于权利要求1~3中任一项所述的扫描场镜的光学扫描系统,其特征在于,从激光入射端开始,该光学系统包括依次设置的扩束镜、振镜、远心F-theta扫描场镜及像面,振镜由彼此正交的x方向反射镜和y方向反射镜组成,光束依次经过扩束镜、振镜中的x方向反射镜和y方向反射镜,x方向反射镜转动会使激光光斑在加工物件的x方向上移动,y方向反射镜转动会使激光光斑在加工物件的y方向上移动,最后通过远心F-theta扫描场镜将激光光束聚焦到像面上。

5.根据权利要求4所述的一种光学扫描系统,其特征在于,第一透镜距离振镜的距离为20mm-50mm。

6.根据权利要求5所述的一种光学扫描系统,其特征在于,第一透镜距离振镜的距离为35.5mm。

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