[发明专利]一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法及系统有效

专利信息
申请号: 201610079498.4 申请日: 2016-02-04
公开(公告)号: CN105675922B 公开(公告)日: 2018-01-16
发明(设计)人: 吴浚瀚 申请(专利权)人: 广州市本原纳米仪器有限公司
主分类号: G01Q40/00 分类号: G01Q40/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 代理人: 胡辉
地址: 510660 广东省广州市越秀区先*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 压电 陶瓷 扫描器 扫描 范围 校正 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法,从计算校正法、盲校正法和拟合校正法中选定一种基于样品厚度的扫描范围校正方法,其特征在于:包括以下步骤:

S1、根据选定的校正方法得到压电陶瓷管扫描器的实际扫描范围与样品厚度的关系,其中,计算校正法根据给定的压电陶瓷管长度、给定的样品台高度以及1个给定厚度的标准样品得到实际扫描范围与样品厚度的关系,盲校正法根据两个给定厚度不同的标准样品得到实际扫描范围与样品厚度的关系,拟合校正法根据一系列不同给定厚度的标准样品实际扫描成像的结果拟合出实际扫描范围与样品厚度的关系;

S2、获取被测样品的实际厚度,并根据被测样品的实际厚度以及实际扫描范围与样品厚度的关系对压电陶瓷管扫描器的扫描范围进行校正。

2.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法,其特征在于:所述计算校正法根据给定的压电陶瓷管长度、给定的样品台高度以及1个给定厚度的标准样品得到实际扫描范围与样品厚度的关系这一步骤,其具体为:

根据给定的压电陶瓷管长度L、给定的样品台高度H以及1个给定厚度为T0的标准样品得到实际扫描范围S与样品厚度T的关系表达式,所述实际扫描范围S与样品厚度T的关系表达式为:

S=(1+2(T-T0)L+2H+2T0)S0,]]>

其中,S0为标准样品标定的扫描范围。

3.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法,其特征在于:所述盲校正法根据两个给定厚度不同的标准样品得到实际扫描范围与样品厚度的关系这一步骤,其具体为:

根据两个给定厚度分别为T0和T1的标准样品对实际扫描范围进行两次标定,然后根据两次标定的结果得出实际扫描范围S与样品厚度T的关系表达式,所述实际扫描范围S与样品厚度T的关系表达式为:

S=(1+2(T-T0)k+2T0)S0k=2S0(T1-T0)S1-S0-2T0,]]>

其中,S0为给定厚度为T0的标准样品标定的扫描范围,S1为给定厚度为T1的标准样品标定的扫描范围。

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