[发明专利]光阻喷涂机及其环状结构在审
| 申请号： | 201610082217.0 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN105929637A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡邹佐;吴国经;蔡宗恒 | 申请（专利权）人： | 精材科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾桃园市中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷涂 及其 环状 结构 | ||
【权利要求书】：
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