[发明专利]一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉

权利要求书

1.一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，包括隔热笼和导流装置，所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体，其特征在于：还包括用于加热载气的加热装置；所述导流装置至少由配接筒和导流筒构成，所述配接筒包括固定连接的配接筒部和进气台部，配接筒部为沿其中心线方向设置通孔的柱体，进气台部设置在配接筒部的外部，进气台部内设置用于载气流入的进气孔，配接筒部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的下端开口的第一分流腔，所述进气孔和第一分流腔间通过连通气道连通；所述导流筒为沿其中心线方向设置通孔的柱体，导流筒上端部的筒壁内设置与具共中心线的呈环状的上端面开口的第二分流腔，第二分流腔和第一分流腔相对应；所述导流筒的筒壁内设置至少一条自第二分流腔下端面沿着非等螺距的圆柱状螺旋线向下延伸的导流气道，导流气道的出口位于导流筒的下端；所述导流筒的上端部穿过顶隔热板中部的通孔，和设置在顶隔热板上方的配接筒轴向固定连接；所述加热装置的输出端和导流装置的进气孔通过配接管道连通，输入端和载气的输送管连通。

2.根据权利要求1所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述连通气道的一端部和进气孔相切连通，另一端部和第一分流腔的侧面相切连通。

3.根据权利要求2所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述加热装置为空气加热器，空气加热器的壳体内设置隔热层，空气加热器的输出端和导流装置的进气孔通过配接管道连通，输入端和载气的输送管连通；所述配接管道的外部包覆隔热层。

4.根据权利要求3所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述空气加热器为肋管式空气加热器。

5.根据权利要求2所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述加热装置为加热管，所述加热管设置于铸锭炉的隔热笼内，加热管的输出端和导流装置的进气孔通过配接管道连通，输入端和载气的输气管连通。

6.根据权利要求5所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述加热管呈迂回分布，设置于铸锭炉的加热器和隔热笼之间。

7.根据权利要求6所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述加热管为翅片管，设置于加热器的顶加热器和隔热笼的顶隔热板之间。

8.根据权利要求4或5所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述肋管、加热管的材质为钼、钨或钛。

9.根据权利要求1-7任一权利要求所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：

所述导流气道出口段的螺旋线的螺距逐渐减小，导流气道的出口位于导流筒的下端面；或者，

所述导流气道出口段的螺旋线的螺距逐渐减小、半径逐渐增大，导流气道的出口位于导流筒外侧面的下端或位于导流筒的外侧面和下端面的交处。

10.根据权利要求9所述的一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，其特征在于：所述导流气道的数量为2个、3个或4个，围绕着导流筒的中心线均匀分布。