[发明专利]一种高效研磨抛光加工装置

权利要求书

1.一种高效研磨抛光加工装置，其特征在于，包括：太阳轮、行星轮和内齿圈，其中所述太阳轮、所述行星轮和所述内齿圈三者中至少有一个为非圆齿轮，三者共同构成非圆行星轮机构；所述行星轮中开设有载物孔，工件置于所述行星轮的载物孔内，所述行星轮分别与所述太阳轮和所述内齿圈相啮合；所述太阳轮的节曲线为高阶椭圆、高次谐波曲线、椭圆形、正圆形中的一种，所述行星轮的节曲线为高阶椭圆、高次谐波曲线、椭圆形、正圆形中的一种，所述内齿圈的节曲线为高阶椭圆、高次谐波曲线、椭圆形、正圆形中的一种。

2.如权利要求1所述的高效研磨抛光加工装置，其特征在于：还包括上研磨抛光盘、下研磨抛光盘，其中所述上研磨抛光盘、所述非圆行星轮机构、所述下研磨抛光盘三者自上而下平行设置，工件下表面与所述下研磨抛光盘接触，所述上研磨抛光盘下压于工件上表面。

3.如权利要求2所述的高效研磨抛光加工装置，其特征在于：还包括加工液供给机构、驱动结构及控制单元。

4.如权利要求3所述的高效研磨抛光加工装置，其特征在于：所述太阳轮节曲线为高阶椭圆，阶数为4，偏心率0.1052，中径154.17mm，所述行星轮节曲线为正圆形，半径为35.27mm。

5.如权利要求3所述的高效研磨抛光加工装置，其特征在于：所述内齿圈节曲线为高次谐波曲线，阶数为6，幅值系数0.0626，中径534.13mm，所述行星轮节曲线为正圆形，半径85mm。

6.如权利要求3所述的高效研磨抛光加工装置，其特征在于：所述太阳轮节曲线为正圆形，半径50mm，所述内齿圈节曲线为椭圆形，偏心率0.2736，中径346.82mm，所述行星轮节曲线为正圆形，半径63.14mm。