[发明专利]等离子体生成设备在审
| 申请号： | 201610086116.0 | 申请日： | 2016-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN105898977A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·R·伯吉斯;安东尼·P·威尔比;C·L·威迪克斯;I·蒙克里夫;P·登斯利 | 申请（专利权）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/67;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 胡春光;张颖玲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 生成 设备 | ||
【说明书】：
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