[发明专利]一种超纯硫酸的制备方法

权利要求书

1.一种超纯硫酸的制备方法，以发烟硫酸为原料，其特征在于，包括如下步骤：

（1）蒸馏：将发烟硫酸在一定压力下通入热交换器中，加热蒸馏，得到气化的三氧化硫气体和发烟硫酸回收液；所述压力为0 .15～0 .2MPa；

（2）净化过滤：将步骤（1）中得到的三氧化硫气体通入分离器中去除颗粒杂质；

（3）分离三氧化硫液体：将步骤（2）中过滤除杂后的三氧化硫气体依次经冷却和冷凝后，得到三氧化硫液体和气体杂质；

（4）二次蒸发：将步骤（3）中得到的三氧化硫液体通入蒸发器中进行二次蒸发气化，得到三氧化硫气体；

（5）多级吸收：经步骤（4）中得到的三氧化硫气体通入吸收塔，并用超纯水进行多级吸收，得到硫酸溶液；

（6）汽提塔除杂：将步骤（5）中得到的硫酸溶液泵入汽提塔内，以洁净的空气为汽提介质，去除硫酸溶液中的二氧化硫；

（7）成品：将步骤（6）中经汽提塔除杂后的硫酸溶液经冷凝器冷却后得到所述超纯硫酸；所述超纯硫酸中，大于等于0 .5μm颗粒浓度小于5p/ml，大于等于0 .2μm颗粒浓度小于100p/ml，单项金属离子含量小于0 .1ppb，二氧化硫含量小于3ppm。

2.根据权利要求1所述的超纯硫酸的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，所述加热蒸馏的温度为45～50℃；所述加热蒸馏的热源为水蒸气。

3.根据权利要求1所述的超纯硫酸的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，所述发烟硫酸中三氧化硫的质量浓度为30%，所述发烟硫酸回收液中，三氧化硫的质量浓度为20%。

4.根据权利要求1所述的超纯硫酸的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中，所述二次蒸发的温度为55～65℃；所述二次蒸发的热源为热酸溶液。

5.根据权利要求1所述的超纯硫酸的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）中，所述多级吸收的温度为0～5℃，所述吸收塔为单塔多级吸收塔，其内衬均为PFA材质。