[发明专利]基于MIM高灵敏度SPP温度光开关有效

申请号：	201610086376.8	申请日：	2016-02-15
公开（公告）号：	CN105572798B	公开（公告）日：	2018-08-07
发明（设计）人：	欧阳征标;陈治良	申请（专利权）人：	欧阳征标
主分类号：	G02B6/122	分类号：	G02B6/122;G02F1/01
代理公司：	深圳力拓知识产权代理有限公司 44313	代理人：	龚健
地址：	518006 广东***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	基于 mim 灵敏度 spp 温度开关
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【权利要求书】：

1.一种基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：它由一个矩形腔、一个控制光吸收腔、银块、一个竖直波导、一个水平波导、三个金属膜、一个太赫兹控制光和一个水平传播的信号光组成；所述矩形腔位于控制光输入端，所述控制光吸收腔和竖直波导相连；所述银块设置竖直波导内，可以移动；所述竖直波导和水平波导相连接；所述太赫兹控制光位于矩形腔的上端；所述MIM为金属-绝缘体-金属结构的波导。

2.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述矩形腔内的物质为高透射率的物质。

3.按照权利要求2所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述高透射率的物质为硅、锗或者砷化镓。

4.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述吸收腔的形状为矩形、圆形、多边形。

5.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述吸收腔内的物质为高膨胀系数的物质。

6.按照权利要求5所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述高膨胀系数的物质为酒精或者水银。

7.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述水平波导和竖直波导为MIM结构的波导。

8.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述金属为金。

9.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述金属为银。

10.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述绝缘体为透明物质。

11.按照权利要求10所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述透明物质为空气、二氧化硅或者硅。

12.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：所述太赫兹控制光的波长为3μm的太赫兹波，消光比为10dB。

13.按照权利要求1所述的基于MIM高灵敏度SPP光开关，其特征在于：入射光波长为759nm，所述移动银块距离水平波导为60nm时，开关为开启的状态，所述移动银块距离水平波导为90nm时，开关为闭合的状态。