[发明专利]实现冗余功能存储器芯片测试的方法有效

专利信息
申请号: 201610086766.5 申请日: 2016-02-16
公开(公告)号: CN105761760B 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 朱渊源 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G11C29/56 分类号: G11C29/56
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 王江富
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 实现 冗余 功能 存储器 芯片 测试 方法
【说明书】:

发明公开了一种实现冗余功能存储器芯片测试的方法,其把存储器芯片主区域测试向量按最小冗余单元进行分割,做成子测试向量组;针对每个测试项目分别运行子测试向量组,读出子测试向量组的每个向量的测试结果;把失效向量的序号换算成失效单元地址存放在内存变量中,不同测试项目的子测试向量组测试出的失效单元地址存放在不同的内存变量中,并累积计算每个测试项目的失效单元个数及地址;根据每个测试项目的失效单元个数及地址,统计得出存储器芯片主区域失效单元数的总和以及失效地址。本发明的实现冗余功能存储器芯片测试的方法,可以利用自带数字向量发生器的数字测试机实现和存储器测试机相同的冗余功能存储器芯片测试,降低测试成本。

技术领域

本发明涉及芯片测试技术,特别涉及了一种实现冗余功能存储器芯片测试的方法。

背景技术

目前在测试存储器芯片(Memory IC)时为了提高测试良品率,会增加冗余单元(Redundancy Sector),作用是当检测到芯片主区域(main array)有失效单元(fail bitcell)时,可以用冗余单元来替换主区域的失效单元,替换方式一般有硬件替换和软件替换两种,现在比较通用方法是软件替换。

要测试这类芯片一般需要用专用的存储器测试机(Memory Tester),因为存储器测试机会带有一种特殊的RAM,用来存储被测芯片(DUT)失效单元的地址,一般简称ECR或AFM(见附图1)。这块RAM可以记录测试流程中各个测试项累计测试的失效单元地址,并在流程最后统计出失效单元数的总和以及失效地址,用冗余单元来替换失效单元。以上是存储器测试机用ECR来测试带冗余功能芯片的测试机理,非常方便,但存储器测试机一般来说价格比较昂贵,并且使用ECR或AFM需要支付一定的有偿许可(license)。

存储器测试机(Memory Tester)一测试实例如图1所示,某存储器芯片由X地址10个单元、Y地址8个单元组成,测试流程包含3个测试项,第1个项目失效单元是(0,0)、(3,2)存储地址,第2个项目失效单元是(6,2)、(4,5)存储地址,第3个项目失效单元是(3,2)、(8,7)存储地址。在实际测试过程中,存储器测试机(Memory Tester)的ECR可以记录测试流程中各个测试项累计测试的失效单元地址,第1个项目ECR记录的失效个数是2,失效单元是(0,0)、(3,2)存储地址,第2个项目ECR记录的失效个数是4,失效单元是(0,0)、(3,2)、(6,2)、(4,5)存储地址,第3个项目ECR记录的失效个数是5,失效单元是(0,0)、(3,2)、(6,2)、(4,5)、(8,7),并在流程最后统计出失效单元数的总和以及失效地址。该实例中,因为(3,2)地址在第1个项目及第3个项目中都有失效,ECR不会重复统计,因此最后统计出的失效地址个数是5,并且(3,2)地址不会重复统计。在最后,存储器测试机(Memory Tester)会通过特殊模式用冗余单元来替换失效单元,见附图2,以确保测试通过后到后端用户处的芯片是良品。

数字测试机(Digital Tester)价格相对比较低,但数字测试机不具备ECR或AFM模块,所以要实现冗余功能测试会相当有难度,如何用数字测试机具备测试冗余单元的存储器芯片成为了测试工程师的巨大挑战。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种实现冗余功能存储器芯片测试的方法,可以利用自带数字向量发生器的数字测试机实现和存储器测试机相同的冗余功能存储器芯片测试,降低测试成本。

为解决上述技术问题,本发明提供的实现冗余功能存储器芯片测试的方法,其包括以下步骤:

一、把存储器芯片主区域测试向量按最小冗余单元进行分割,做成子测试向量组;

二、针对每个测试项目分别运行子测试向量组,读出子测试向量组的每个向量的测试结果;

三、把失效向量的序号换算成失效单元地址存放在内存变量中,不同测试项目的子测试向量组测试出的失效单元地址存放在不同的内存变量中,并累积计算每个测试项目的失效单元个数及地址;

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