[发明专利]曝光机及曝光灯的更换方法有效
申请号: | 201610087845.8 | 申请日: | 2016-02-16 |
公开(公告)号: | CN105487352B | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 龚冰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 更换 方法 | ||
1.一种曝光灯的更换方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供曝光机,所述曝光机包括外壳(1)、设于所述外壳(1)中的上端开口的集光镜(2)、设于所述集光镜(2)中的曝光灯(3)、及设于所述外壳(1)顶部的外围且末端的出气孔朝下的数个喷气装置(4);所述数个喷气装置(4)可在所述集光镜(2)的上方进行伸缩;关闭所述曝光灯(3);
步骤2、将所述数个喷气装置(4)伸出至其末端的出气孔位于所述集光镜(2)边缘区域的上方,对所述集光镜(2)的内部及曝光灯(3)进行喷气,从而使所述曝光灯(3)实现快速降温;
步骤3、提供新曝光灯,对降温后的曝光灯(3)进行更换。
2.如权利要求1所述的曝光灯的更换方法,其特征在于,所述集光镜(2)的底部设有排尘孔(21);所述步骤2中通过所述喷气装置(4)向所述集光镜(2)内部喷气时,所述集光镜(2)上粘附的异物或灰尘被吹起后通过所述排尘孔(21)排出至所述集光镜(2)外部。
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