[发明专利]曝光机及曝光灯的更换方法有效

专利信息
申请号: 201610087845.8 申请日: 2016-02-16
公开(公告)号: CN105487352B 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 龚冰 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02F1/13
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所44265 代理人: 林才桂
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 曝光 更换 方法
【权利要求书】:

1.一种曝光灯的更换方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、提供曝光机,所述曝光机包括外壳(1)、设于所述外壳(1)中的上端开口的集光镜(2)、设于所述集光镜(2)中的曝光灯(3)、及设于所述外壳(1)顶部的外围且末端的出气孔朝下的数个喷气装置(4);所述数个喷气装置(4)可在所述集光镜(2)的上方进行伸缩;关闭所述曝光灯(3);

步骤2、将所述数个喷气装置(4)伸出至其末端的出气孔位于所述集光镜(2)边缘区域的上方,对所述集光镜(2)的内部及曝光灯(3)进行喷气,从而使所述曝光灯(3)实现快速降温;

步骤3、提供新曝光灯,对降温后的曝光灯(3)进行更换。

2.如权利要求1所述的曝光灯的更换方法,其特征在于,所述集光镜(2)的底部设有排尘孔(21);所述步骤2中通过所述喷气装置(4)向所述集光镜(2)内部喷气时,所述集光镜(2)上粘附的异物或灰尘被吹起后通过所述排尘孔(21)排出至所述集光镜(2)外部。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司,未经武汉华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610087845.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top