[发明专利]表面等离子体透镜在审
| 申请号： | 201610089178.7 | 申请日： | 2016-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN105467479A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 文静;钟阳万;王康;冯辉;黄元申;张大伟 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 等离子体 透镜 | ||
1.一种表面等离子体透镜，其特征在于，包括基底和形成在所述基底上的 金属膜层；在所述金属膜层上表面形成有主环形槽，在所述主环形槽的槽底且 沿主环形槽的周向形成有副环形槽，所述主环形槽和副环形槽的环心连线垂直 于所述金属膜层上表面，所述主环形槽的外径大于所述副环形槽的外径，所述 副环形槽的底部端面高于所述金属膜层的下表面。
2.如权利要求1所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述金属膜层为 金属银膜。
3.如权利要求1所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述主环形槽的 内径等于所述副环形槽的内径。
4.如权利要求3所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述主环形槽和 副环形槽的内径为1345nm。
5.如权利要求1所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述主环形槽的 槽宽大于所述副环形槽的槽宽，所述主环形槽的槽深大于所述副环形槽的槽 深。
6.如权利要求5所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述主环形槽和 副环形槽的截面槽型呈矩形。
7.如权利要求6所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述主环形槽的 槽宽为310nm，槽深为110nm。
8.如权利要求6所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述副环形槽的 槽宽为155nm，槽深为20nm。
9.如权利要求1或7或8所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述金 属膜层的厚度大于300nm。
10.如权利要求1所述的表面等离子体透镜，其特征在于，表面等离子体 透镜的工作波为径向偏振光，工作波的波长在600nm～670nm之间。
11.如权利要求10所述的表面等离子体透镜，其特征在于，所述工作波的 波长为633nm。
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