[发明专利]用于光束抖动和刮削的镭射加工系统和方法有效
| 申请号： | 201610090031.X | 申请日： | 2011-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN105834583B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 马克·A·昂瑞斯;安德鲁·柏威克;亚历山大·A·麦亚钦 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/364;H01L21/48;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光束 抖动 刮削 镭射 加工 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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