[发明专利]环状液体收集装置

说明书

本发明公开了一种环状液体收集装置，其包含环形外壳、多个液体收集板、多个软质折叠层及多个收集板延伸支架。多个液体收集板安装于环形外壳中。多个软质折叠层分别安装于多个液体收集板之间，以及多个收集板延伸支架分别连接于对应的多个液体收集板，以分别改变多个液体收集板的高度，使多个软质折叠层其中一个呈现伸张状态，以进行液体回收。借此，本发明的环状液体收集装置，可以避免回收液体相互污染。

技术领域

本发明涉及一种环状液体收集装置，且特别涉及一种软性材质的环状液体收集装置。

背景技术

近年来，由于半导体技术的日益进步，集成电路使用于电子设备的数量越来越多，功能也越来越强大。蚀刻技术则广泛地被应用在半导体工艺之中。

传统上，蚀刻技术可大致分为湿式蚀刻以及干式蚀刻。针对不同的材料及特征尺寸，制造者选择不同的蚀刻方式。湿式蚀刻主要是利用化学反应原理，使用化学蚀刻液与所欲蚀刻的层别进行反应，而将其溶解。因此，湿式蚀刻具有低工艺成本的优势。

湿式蚀刻使用不同的化学液体进行半导体材料的蚀刻。为了回收各种不同的化学液体，以及清洗半导体材料上残留化学液体所需的去离子水(DI Water)，传统上简单的开口式单晶圆湿式蚀刻机使用不同高度的多个收集槽，以在不同的高度收集不同的液体，以减少化学液体的污染的情况。

因此，如何能提高液体收集槽的收集空间，避免化学液体的相互污染，为半导体的生产厂商及半导体生产设备的厂商所殷殷企盼。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种环状液体收集装置，可以避免回收液体相互污染。

本发明内容的一实施例是有关于一种环状液体收集装置，其包含有环形外壳，多个液体收集板安装于环形外壳中，多个软质折叠层分别安装于多个液体收集板之间，以及多个收集板延伸支架分别连接于对应的多个液体收集板，以分别改变多个液体收集板的高度，使多个软质折叠层其中一个呈现伸张状态以进行液体回收。

在一些实施例中，环形外壳还包含升降器开槽，以使多个收集板延伸支架经由升降器开槽，由环形外壳内部向外延伸。

在一些实施例中，环状液体收集装置还包含有收集板升降装置，以及多个收集板垂直升降器分别连接对应的多个收集板延伸支架，以改变多个液体收集板的高度。

在一些实施例中，收集板升降装置是液压收集板升降装置、气压收集板升降装置或马达收集板升降装置。

在一些实施例中，至少其中一个液体收集板可向上升高并超过环形外壳的高度，例如是液体收集板顶盖。

在一些实施例中，环状液体收集装置还包含有多个泄流口，其分别安装于对应的多个液体收集板，以将回收的液体向外排出至外部回收装置。

在一些实施例中，液体收集板由内侧向外侧与向下倾斜，以利用重力将回收的液体排出至外部回收装置。

在一些实施例中，环状液体收集装置还包含有主排气装置与多个排气阀，多个排气阀分别安装于对应的多个液体收集板，以将废气排出环状液体收集装置。

在一些实施例中，环状液体收集装置还包含有间隙排气阀，其安装于环形外壳，以将多个液体收集板与环形外壳之间的废气排出环状液体收集装置。

在一些实施例中，环状液体收集装置安装于湿式蚀刻机台中，湿式蚀刻机台的转盘位于环状液体收集装置中，以放置基材于其上，进行湿式蚀刻。